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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
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小型蒸鍍儀特別適合蒸鍍一些輕金屬,，如、Al,、Mg,、和Li等；同時也可對樣品進(jìn)行鍍碳處理,，大可處理的樣品直徑為50mm,。
KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),，樣品高度調(diào)節(jié),，及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,，可制備各種金屬薄膜,。
小型蒸鍍儀
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃,，濕度55%Rh±10%Rh下使用,。 1、水：不需要 2,、電：AC220V 50Hz,，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗,，需自備氬氣氣瓶 4,、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5,、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點 | 1,、配有直連式雙旋機械泵（裝有油污過濾器和防回油裝置），可使真空腔體真空度達(dá)到10-2torr,。 2,、配有KF25波紋管和卡箍。 3,、可進(jìn)行鍍碳處理,。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電壓：AC208V-240V 50/60Hz 2,、功率：<2000W 3,、真空腔體：熔融玻璃管 4、載物臺：50mm 5,、大蒸鍍區(qū)域：45mm 6,、鎢絲舟：3個 7、真空度：10-2torr（雙旋機械泵） | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 鎢絲舟 | 3個 |
2 | 碳纖維 | 1根 | |
注意事項 | 1,、對于蒸鍍對氧較敏感的材料,，建議使用渦旋分子泵。 2,、為了達(dá)到較高的無氧環(huán)境,，至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗3次,。 | ||
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