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    液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量；質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制,。

   它們在半導體微電子工業(yè),、特種材料研制、化學工業(yè),、石油工業(yè),、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用,。其典型的應(yīng)用場合包括； 電子工藝設(shè)備,，如擴散,、氧化、外延,、CVD,、等離子刻蝕、濺射,、離子注入,；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置,、混氣配氣系統(tǒng),、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器,。

概覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行 精密控制和測量,。它們在半導體集成電路工藝、特種材料,、化學工業(yè),、石油工業(yè)、醫(yī)藥,、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用,。其典型的應(yīng)用場合包括： 集成電路工 藝設(shè)備，如外延爐,、擴散爐,、CVD、等離子刻蝕機,、濺射臺,、離子注入機； 以及鍍膜設(shè)備,、 光纖熔煉設(shè)備,、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng),、氣體取樣裝置,、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器,。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電子生產(chǎn)的數(shù)字型產(chǎn)品,，為氣體質(zhì)量流量的控制、 測量提供了高準確度及高可靠性,。該型產(chǎn)品可同時支持數(shù)字信號,，0~5V 模擬信號，4~20mA 或 0~20mA 模擬信號,，可以使用雙電源(±8~±16 VDC)或單電源(+14~+28 VDC),。支持自動故障報警，多氣體多量程等功能,。標準開放的通訊協(xié)議為客戶自行開發(fā)控制,、采集軟件 提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件 Digital MFC,。CS200-C 與 CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,，其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標準的要求。

CS200-A,C,D MFC 默認配置為：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200,；
控制方式：0~5V 電壓控制,。

更多細節(jié)請參考產(chǎn)品附帶光盤中的“CS 系列 MFC 通訊協(xié)議"。

標定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶的要求來標定,。如果用戶沒有說明工作情況等信息,，

則按照標準狀況標定。

1,、標準狀況

出口壓力：大氣壓
氣體質(zhì)量流量通常用標準狀態(tài)下的體積流量來表示,，質(zhì)量流量單位為：

SCCM：標準毫升/分鐘
SLM：標準升/分鐘
標準狀態(tài)：溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓：101325Pa (760mm Hg)

在標準狀態(tài)下，氣體的密度是一個常數(shù),，該密度乘以標準狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù),，所以標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
MFC/MFM 的標準安裝位置為水平安裝,，同時為客戶提供垂直(進氣口向上或向下),、平躺及其它位置的安裝，為保證的測量精度,，用戶購買時應(yīng)該說明設(shè)備的安裝方式,。

2、制造環(huán)境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為 22±2°C的 100 級的凈化間內(nèi)組裝,，1000 級凈化環(huán)境下標定及包裝,。

3、精度調(diào)節(jié)
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應(yīng)的標定臺上烤機 24 小時,，然后進行精確標定,。精度、動態(tài)響應(yīng),、壓力變化的穩(wěn)定性等指標須經(jīng)過兩次檢查,合格后方可出廠