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關(guān)于小型濺射儀 小型蒸鍍產(chǎn)品知識(shí)要點(diǎn)

直流磁控濺射儀濺射方式是調(diào)動(dòng)靶材內(nèi)磁場(chǎng),，使金屬離子轟擊到樣品表面的鍍膜方式。目前只能支持金屬靶材,。已經(jīng)測(cè)試過的靶材有金,、銀、銅,、鉻,、鎳、鋁,、以及部分合金(鎳鐵合金),。以下是對(duì)一些特殊金屬鍍膜要求

鋁:鍍鋁推薦使用高真空分子泵。

鉻,、鎳:靶材厚度 0. 5mm 左右,。

小型蒸鍍儀是通過高溫蒸發(fā)的方式鍍膜。支持蒸鍍金屬和有機(jī)物。目前已測(cè)試的金屬有金,、銀、銅,、鉻,、鎳、鋁,，有機(jī)物(石蠟),。蒸鍍儀增加膜厚監(jiān)測(cè)需要用到帶有屏蔽溫度的陶瓷坩堝(原因是高溫會(huì)影響膜厚儀的測(cè)試結(jié)果)。以下是對(duì)一些特殊金屬鍍膜要求,。鋁:鍍鋁需要用到陶瓷坩堝,。是因?yàn)殇X高溫熔化時(shí)會(huì)滲透進(jìn)鎢舟，發(fā)生脆性相,，鎢舟容易斷裂,。

鎳:'熔點(diǎn)較高(1453°)，需要用鎳絲纏繞鎢棒進(jìn)行蒸發(fā),。同樣會(huì)滲透進(jìn)鎢棒內(nèi),，使鎢棒斷裂

鉻:熔點(diǎn)較高(1850左右°)，需要用到鉻鎢棒進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜,。