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東莞市隆創(chuàng)真空設(shè)備有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第5年

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干式渦旋真空泵相關(guān)技術(shù)和安全使用問(wèn)答

時(shí)間:2021/8/20閱讀:1693
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Q:渦旋干式真空泵使用注意事項(xiàng),?

A:◇渦旋干式真空設(shè)計(jì)用于抽大氣。所以不要用此泵抽特殊氣體、含國(guó)家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體,、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體,、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等,。

◇檢查確定此真空泵安全接地,。

◇此泵工作過(guò)程中或剛停機(jī)時(shí)不要接觸泵電機(jī)或金屬部件(因?yàn)楣ぷ鲿r(shí)很熱,最高可能達(dá)到70℃),。如確實(shí)需要接觸,,采取必要防護(hù)措施防止受傷。

◇未加風(fēng)扇蓋前,,不要啟動(dòng)泵,。
◇泵工作條件要求:環(huán)境溫度5~35℃。如果超過(guò)35℃,,可能引起泵或電機(jī)性能下降,。

◇渦旋干式真空泵必須與設(shè)計(jì)規(guī)定電源連接。

◇必須安裝電機(jī)保護(hù)開(kāi)關(guān),。


Q:渦旋干式真空泵電機(jī)沒(méi)有熱保護(hù)開(kāi)關(guān),,電機(jī)鎖死時(shí)不能提供過(guò)熱保護(hù)。必須在泵與電源線之間加電機(jī)保護(hù)開(kāi)關(guān),,否則電機(jī)鎖死時(shí)可能冒煙甚至起火,。

◇移動(dòng)泵時(shí)不要握塑料件,否則塑料件可能破損,。

◇不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭,,以免損壞法蘭口,導(dǎo)致真空度上不去,。

如果真空度上不去,,更換法蘭。

◇在進(jìn)氣口處裝真空閥,。

真空泵停止后進(jìn)氣口處真空度降低,,是因?yàn)榕艢饪谔幍拇髿夥抵吝M(jìn)氣口處,不是真空泵的原因,。如要保證真空室內(nèi)的真空度,,要在真空室與泵之間安裝真空閥。

◇排氣口處要接排氣管,,以防灰塵進(jìn)入泵內(nèi),。 


Q:渦旋干式真空泵加氣鎮(zhèn)閥時(shí)注意事項(xiàng)?

A:加氣鎮(zhèn)閥主要是為了抽包括水蒸氣在內(nèi)的特殊氣體,,保證泵的良好抽氣性能。使用渦旋干式真空泵時(shí),除上述注意事項(xiàng)外,,還要注意:

◇不要用此泵抽腐蝕性氣體
此泵只能抽空氣,、氮?dú)夂退魵狻2灰么吮贸楦g性氣體,,如有機(jī)溶劑,、高濃度半導(dǎo)體工藝用氣體、高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體等,。這些氣體容易使軸承失效,。

◇被抽氣體水蒸氣含量必須少于要求值。如果超過(guò)此極限,,將縮短氣鎮(zhèn)閥壽命

◇加濾網(wǎng)

使用氣鎮(zhèn)閥時(shí),,必須加濾網(wǎng)。否則可能抽進(jìn)灰塵,。

◇定期檢查

為了泵正常工作,,要對(duì)濾網(wǎng)進(jìn)行定期檢查。否則氣鎮(zhèn)閥不能正常工作,。

◇供氣

要保證加適量的氣體使泵高效率工作,。


Q:渦旋干式真空泵安裝地點(diǎn)要求?

A:渦旋干式真空泵的安裝應(yīng)滿足下述要求:

①平面放置

②避免陽(yáng)光直射

③環(huán)境溫度5~35 ℃,;濕度90%,,或沒(méi)有結(jié)露

④通風(fēng)良好

⑤泵附近不得存放化學(xué)品或易燃品

⑥防潮

⑦泵周?chē)h(huán)境易于對(duì)泵進(jìn)行清理檢驗(yàn)。

 

Q:渦旋干式真空泵與電源連接的注意事項(xiàng),?

A:◇檢查確認(rèn)此泵電源接地良好,。

◇檢查確認(rèn)此泵電源為要求值。

◇在此泵與真空室之間安裝保護(hù)開(kāi)關(guān),。

 

Q:渦旋干式真空泵與電源連接步驟,?

A:①打開(kāi)電機(jī)接線盒,將電源線與接線柱連接,。

②電源線應(yīng)當(dāng)為達(dá)到或超過(guò)直徑1.25毫米四芯電纜,。具體參見(jiàn)使用說(shuō)明書(shū)。

③有的渦旋干式真空泵電機(jī)內(nèi)部無(wú)熱保護(hù)器,,一定要安裝保護(hù)開(kāi)關(guān),,推薦為額定電流低于10A。具體參見(jiàn)使用說(shuō)明書(shū),。

④確認(rèn)此泵從電機(jī)方向看順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng),。打開(kāi)進(jìn)氣與排氣口。打開(kāi)電機(jī)開(kāi)關(guān)起動(dòng)電機(jī)2-3秒,。檢查確定進(jìn)氣口抽氣,。如果電源線連接錯(cuò)誤,將從排氣口進(jìn)氣。

 

Q:渦旋干式真空泵排氣注意事項(xiàng),?

A:◇渦旋干式真空設(shè)計(jì)用于抽大氣不要用此泵抽特殊氣體,、含國(guó)家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體,、有機(jī)溶劑,、結(jié)晶氣體等。

◇不要用此泵抽灰塵,。抽灰塵時(shí),,一定加濾網(wǎng)。

◇不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭

以免損壞法蘭口,,導(dǎo)致真空度上不去,。如果真空度上不去,更換法蘭,。

◇在進(jìn)氣口裝進(jìn)氣閥


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