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東莞市隆創(chuàng)真空設備有限公司
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真空系統(tǒng)的工藝要求

時間:2020/3/11閱讀:904
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鍍膜機:已被廣泛應用于塑料,、工藝禮品、包裝,、光學,、電子、玩具,、建材,、五金、鐘表,、飾品,、汽車等行業(yè),鍍膜機營銷范圍遍及全國,。我們在操作流程上,,從采購原料、設備制造,、經(jīng)營管理,、技術(shù)員的現(xiàn)場安裝調(diào)試到售后服務形成了一條有序的、完善的質(zhì)量管理體系,。爐體可選擇由不銹鋼,、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。
  根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設備,,其類型有電阻蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)、磁控濺射,、磁控反應濺射,、離子鍍,、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等,。夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn),、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)方式,用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應要求,,轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度:普通可調(diào)及變頻調(diào)速等,。

  真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵,、油增壓泵,、增擴泵、羅茨泵,、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動,、手動、電動閥門,、管道等組成,。根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式,如電阻蒸發(fā)(鎢絲,、鉬舟,、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源,、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,,氣動,、電動的引弧等),真空測量可選擇數(shù)字式智能真空計及其的測量規(guī)管,,及其它測量儀器,,如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,,透過率計等,。充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門,,并可選擇多路充氣管路及相應流量參數(shù),。根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應儀表測量,。根據(jù)設備使用特點,,可選擇手動、半自動,、全自動或其組合的控制方式,。完善的報警系統(tǒng),,對真空室體、擴散泵斷相,、缺水,、氣壓、電源負載的過壓,、過流等異常情況進行聲光報警,。

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