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低壓等離子體系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)的真空系統(tǒng)組件,，其設(shè)計(jì)，組裝和運(yùn)行均適用于安全,，重復(fù)地生產(chǎn)等離子體化學(xué)物質(zhì)的特定過(guò)程。
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這些低壓等離子系統(tǒng)為表面改性提供了廣泛的選擇,。這樣的一些例子是被污染部件的精細(xì)清潔，塑料部件的等離子體活化,，有機(jī)或無(wú)機(jī)材料的蝕刻,，等離子體沉積,，低摩擦涂層以及在塑料部件上涂覆類(lèi)PTFE層（聚四氟乙烯）。低壓等離子系統(tǒng)在結(jié)合材料或改變工業(yè)材料的表面特性時(shí),，可用于多種行業(yè),。
對(duì)于低壓等離子體系統(tǒng)，等離子體在包含計(jì)量或定量的所需一種或多種前體氣體的真空室內(nèi)產(chǎn)生,。然后,，該氣體被激發(fā)以將狀態(tài)改變?yōu)榈入x子體。這種興奮的例子之一是使射頻電流通過(guò)氣體,。該RF能量產(chǎn)生與真空室內(nèi)的材料表面接觸的順應(yīng)性氣體等離子體,。由于等離子體系統(tǒng)控制軟件的發(fā)展，可以連續(xù)進(jìn)行兩個(gè)或多個(gè)步驟,，例如表面清潔和表面涂層,，或清潔，蝕刻和激活,。
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