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擴散硅壓力傳感器原理及應用
擴散硅壓力傳感器原理及應用
工作原理被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷）,，使膜片產(chǎn)生與 TBP-1擴散硅無腔壓力傳感器
介質(zhì)壓力成正比的微位移,，使傳感器的電阻值發(fā)生變化,，和用電子線路檢測這一變化,，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號,。
藍寶石壓力傳感器原理與應用
利用應變電阻式工作原理,，采用硅- 藍寶石作為半導體敏感元件,，具有的計特性,。
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成，不會發(fā)生滯后,、疲勞和蠕變現(xiàn)象,；藍寶石比硅要堅固，硬度更高,，不怕形變,；藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性（1000 OC 以內(nèi)），因此,，利用硅- 藍寶石制造的半導體敏感元件,，對溫度變化不敏感，即使在高溫條件下,，也有著很好的工作特性,；藍寶石的抗輻射特性*,；另外，硅- 藍寶石半導體敏感元件,，無p-n 漂移,，因此，從根本上簡化了制造工藝,，提高了重復性,，確保了高成品率。
用硅- 藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,，可在惡劣的工作條件下正常工作,，并且可靠性高、精度好,、溫度誤差極小,、性價比高。
表壓壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構成：鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片,。印刷有異質(zhì)外延性應變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,，被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上（接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起）,。在壓力的作用下,，鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變，該形變被硅- 藍寶石敏感元件感知后,，其電橋輸出會發(fā)生變化,，變化的幅度與被測壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應變電橋電路的供電,，并將應變電橋的失衡信號轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號輸出（0-5 ,，4-20mA或0-5V）。在絕壓壓力傳感器和變送器中,，藍寶石薄片,，與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起，起到了彈性元件的作用,，將被測壓力轉(zhuǎn)換為應變片形變,，從而達到壓力測量的目的。