低溫捕集泵你知道是用來(lái)做什么的嗎?
閱讀:967 發(fā)布時(shí)間:2022-4-24
低溫捕集泵按照真空度來(lái)分就分為粗真空度,,高真空度以及超高真空度,;按照工作原理來(lái)分就分為氣體輸送泵以及氣體捕集泵,氣體輸送泵又分為變?nèi)菡婵毡?、?dòng)量輸送泵,,氣體捕集泵分為吸附泵,吸氣劑泵以及低溫泵,。真空泵由于其工作性質(zhì),,需要用到真空泵過(guò)濾器,不同類(lèi)型的泵需求也有所不同,,對(duì)于油封式真空泵,,安裝真空泵過(guò)濾器大多為解決其噴油冒煙和環(huán)保問(wèn)題。
在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板,。它使氣體凝結(jié),,并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力,從而達(dá)到抽氣作用,。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝,、低溫吸附和低溫捕集,。
①低溫冷凝:氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上,,其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí),,冷板溫度必須低于 25K,;抽氫時(shí),冷板溫度更低,。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右,。
②低溫吸附:氣體分子以一個(gè)單分子層厚 (厘米數(shù)量級(jí))被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上,。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多,。如在 20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力,用 20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于帕,。這樣就可能在較高溫度下通過(guò)低溫吸附來(lái)進(jìn)行抽氣,。
③低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子,,被不斷增長(zhǎng)的可冷凝氣體層埋葬和吸附,。
一般說(shuō)來(lái),低溫捕集泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力,。溫度為120K時(shí),,水的蒸氣壓已低于帕。溫度為20K時(shí),,除氦,、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于帕,。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同,,泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器,,低溫板為20K時(shí),,泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。