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超低溫冷阱配套應(yīng)用于Parylene鍍膜設(shè)備
在Parylene真空涂敷設(shè)備上，鍍膜腔體與真空泵之間,，需要低溫捕集器,。如下圖。
常見的低溫捕集器有以下3種方式：
1）液氮冷阱,，是經(jīng)濟的低溫捕集方式,，簡單可靠,，易于維護，費用低,。但是液氮的供應(yīng)受制約因素較多,，另外在冷頭里灌注液氮，不太方便,。
2）超低溫制冷機的冷頭,，替換液氮冷阱，是常見的低溫捕集方式,。優(yōu)點是直接替代液氮方式,，用戶容易理解和接受。缺點是冷頭與制冷機之間,，有不可拆卸的低溫軟管,，損失部分冷量,，若是低溫狀態(tài)下移動制冷機,，容易損壞軟管，造成制冷劑泄漏,。與真空系統(tǒng)裝配,，占用空間較多。
3）超低溫制冷機的冷阱,，替換液氮冷阱,，是更合理的低溫捕集方式。將液氮冷頭和真空罐一起去掉,，從鍍膜腔體的真空接口,，采用真空軟管，連接到超低溫冷阱的真空接口,，然后連到真空泵,。超低溫冷阱與超低溫冷頭相比，更加簡單可靠,，安裝和維護更方便,。
液氮冷頭作為低溫捕集器，捕集溫度低,，維護簡單,，但使用不便，常見于實驗室里,。
在工業(yè)領(lǐng)域,，常見的是采用超低溫制冷機作為低溫捕集器，溫度范圍在-80℃~-145℃,，一般分為冷頭和冷阱兩種方式,。
超低溫冷頭的方式,，優(yōu)點是直接替代液氮冷頭，也正好利用了原設(shè)計的液氮冷頭的附加真空罐,。缺點是液氮冷頭或超低溫冷頭,，法蘭接口都是非標(biāo)，需要定制,；超低溫冷頭的黑色連接軟管,，保溫層相對不足，會損失一部分冷量,，低溫時也比較脆弱,、嚴禁移動。
超低溫冷阱的方式,，不需要附加的真空罐,，整機機構(gòu)簡單。從鍍膜腔室,，直接連接冷阱即可,。不會有冷量的損失、堅固耐用,；接口采用真空標(biāo)準(zhǔn)形式KF40或KF50,，非常方便可靠，也是真空系統(tǒng)的常規(guī)設(shè)計方案,。
下圖左邊是冷頭的方式,，黑色的低溫連接管，低溫時比較脆弱,，有冷量損失,。
下圖右邊是冷阱的方式，真空連接比較簡單可靠,，鍍膜腔室à冷阱à真空泵,。
下邊的大圖，是選用臺式冷阱的設(shè)計示意圖（已批量應(yīng)用）,。
在超低溫領(lǐng)域,，長流儀器(Coolium instruments)是一家的研發(fā)型企業(yè)，為客戶提供種類繁多的低溫產(chǎn)品,。比如溫度為-50℃,、-80℃、-110℃,、-120℃,、-135℃、-145℃的標(biāo)準(zhǔn)機型。同時也接受各種用戶需求的非標(biāo)定制,。
長流儀器VaporCold超低溫冷阱配套Parylene設(shè)備,，已有超過15年的時間，配套的超低溫冷阱超過500臺,，用戶分布在國內(nèi),、東南亞、歐洲,、北美等市場,。
長流儀器服務(wù)于Parylene設(shè)備，有豐富的經(jīng)驗和自信,，可為用戶提供多種解決方案,。下圖是長流儀器的部分機型圖片，包括超低溫冷頭,、超低溫冷阱,。
* 單壓縮機自復(fù)疊制冷技術(shù)，降溫快,、溫度低,、節(jié)能環(huán)保、性能可靠,。
* 機型種類齊全,，立式或臺式、冷頭或冷阱,，便于用戶選擇配套。
* 冷頭或冷阱按真空標(biāo)準(zhǔn)進行設(shè)計,、制造和測試,，滿足真空技術(shù)要求。
* 在冷頭或冷阱的低溫表面,，部分機型可選防腐蝕涂層,，大大延遲使用壽命。
下邊是一些國內(nèi)外的應(yīng)用實例,，冷阱形式各異,，供大家對比和參考：
