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縱觀半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展歷史,，不難發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備緊隨芯片制造中心而不斷東移：從70-80年代的美國(guó),，到80-90年代的日本,，再到90年代后期的中國(guó)臺(tái)灣與韓國(guó),。

隨著中國(guó)制造技術(shù)的不斷發(fā)展,，與本身龐大的市場(chǎng)需求相互幫襯,，未來(lái)十年,，中國(guó)有望成為半導(dǎo)體芯片制造的中心,。

目前，在國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)的支持下,，集成電路主要工藝設(shè)備如PVD,、PECVD、CMP,、介質(zhì)刻蝕機(jī),、CMP等技術(shù)均有顯著提升,。而IC晶圓生產(chǎn)線(xiàn)的設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率也在不斷提高。設(shè)備技術(shù)的提升也拉高了對(duì)光學(xué)傳感器性能的需求,。除了對(duì)精度,、穩(wěn)定性等性能要達(dá)到*的標(biāo)準(zhǔn)外，傳感器也被要求實(shí)現(xiàn)更多的檢測(cè)任務(wù),。

作為有著超過(guò)75年歷史的工業(yè)傳感器生產(chǎn)廠(chǎng)商,，SICK具有深厚的技術(shù)積累，豐富的產(chǎn)品種類(lèi),，可以為半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商提供更多樣的產(chǎn)品,、更優(yōu)異的性能以及更專(zhuān)業(yè)的服務(wù)。

1,、硅板厚度測(cè)量

產(chǎn)品系列：OD5000位移測(cè)量傳感器 訂貨號(hào)：6063621

客戶(hù)應(yīng)用:太陽(yáng)能硅片分選機(jī),，客戶(hù)需求在皮帶輸送線(xiàn)上檢測(cè)硅片的厚度，精度要求為2um

采用2*OD5000-C30T05上下組合方式,，來(lái)測(cè)量硅片的厚度

客戶(hù)利用上位機(jī)接受數(shù)據(jù)做算法處理,，判定硅片的規(guī)格

客戶(hù)受益:

雙頭側(cè)厚，通過(guò)以太網(wǎng)接口和集成在傳感器內(nèi)部評(píng)價(jià)單元,，無(wú)需額外控制器計(jì)算

高達(dá)80kHZ測(cè)量頻率,，準(zhǔn)確測(cè)量微小變化

激光定位更加柔性，可視覺(jué),，產(chǎn)品定位精度更高

實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量,，相對(duì)于線(xiàn)激光方案，節(jié)省成本,，精度更高

2,、石英載具到位檢測(cè)

產(chǎn)品系列：WTF12G 訂貨號(hào)：1065719

客戶(hù)應(yīng)用：石英載具裝載硅片進(jìn)行熱處理、涂層等一系列工藝流程,。

需要對(duì)半透明石英載具進(jìn)行穩(wěn)定到位檢測(cè)，由于熱處理中溫度較高,，無(wú)法安裝反射板,，只能選擇漫反射。

檢測(cè)距離較遠(yuǎn),，無(wú)法使用V鏡頭光電傳感器,。

客戶(hù)受益：

WTF12G是漫反射前景抑制型原理，無(wú)需反射板,，只需對(duì)背景進(jìn)行示教即可

可以穩(wěn)定地檢測(cè)透明,、半透明等物體

檢測(cè)距離可達(dá)700mm