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氣體微量流量計(jì)是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理
氣體計(jì)量在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程中占有重要地位,，一方面，新工藝和新技術(shù)等制約其發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域的突破,，尤其是微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，使氣體微量流量計(jì)量由機(jī)械式向智能化,、模塊化方向發(fā)展，其應(yīng)用范圍得到了大的擴(kuò)展;另一方面,，隨著環(huán)境監(jiān)測(cè),、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)怏w計(jì)量準(zhǔn)確度要求的不斷提高,，對(duì)氣體計(jì)量可靠校準(zhǔn)和溯源的研究越來越受到重視,。
氣體微量流量計(jì)是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理,，該儀表的傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(鉑RTD)組成。
一個(gè)是質(zhì)量速度傳感器T1,，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器T2,。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個(gè)恒定的溫差,，另一個(gè)傳感器T2用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度,。
隨著氣體質(zhì)量流速的增加,，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1,、T2恒定的溫度差,，T1的加熱功率就要增大。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,。
移動(dòng)的氣體分子撞擊熱電阻時(shí)吸收帶走熱量,，流量越大，接觸熱電阻的分子越多,，吸收的熱量越多,，熱吸收與某種氣體的分子數(shù)，熱學(xué)特性和流動(dòng)特性有關(guān),。
氣體微量流量計(jì)適用于檢測(cè)微小氣體流量，在精密半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),、氣體泄漏探測(cè),、真空鍍膜等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
應(yīng)用范圍
用于氣體微量流量計(jì)量,，測(cè)量精度可達(dá)ppm級(jí)別,，可適用于普通氣體,、惰性氣體,、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測(cè)量,。適用于氫能、太陽(yáng)能,、沼氣技術(shù),、環(huán)境微生物降解、污水處理,、燃料電池等研究領(lǐng)域,。
該流量計(jì)采用自主發(fā)明技術(shù)GasMeteringCell(GMC)，結(jié)合自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件,，簡(jiǎn)便,、直接測(cè)量氣體體積或質(zhì)量，測(cè)量精度可達(dá)ppm級(jí)別,。
可根據(jù)需要拓展為多通道,，輕松實(shí)現(xiàn)平行實(shí)驗(yàn)，提高工作效率和數(shù)據(jù)可靠對(duì)比性,。