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掃描電鏡分析實(shí)驗(yàn)
閱讀：1780 發(fā)布時(shí)間：2020-9-7一 、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?/span>
1.了解掃描電子顯微鏡的原理,、結(jié)構(gòu);
2.運(yùn)用掃描電子顯微鏡進(jìn)行樣品微觀形貌觀察,。
二、實(shí)驗(yàn)原理
掃描電鏡(SEM)是用聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像,。試樣為塊狀或粉末顆粒,，成像信號(hào)可以是二次電子、背散射電子或吸收電子,。其中二次電子是主要的成像信號(hào),。由電子槍發(fā)射的電子，以其交叉斑作為電子源,，經(jīng)二級(jí)聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量,、一定束流強(qiáng)度和束斑直徑的微細(xì)電子束,，在掃描線圈驅(qū)動(dòng)下，于試樣表面按一定時(shí)間,、空間順序作柵網(wǎng)式掃描,。聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射以及背散射電子等物理信號(hào),，二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化,。二次電子信號(hào)被探測(cè)器收集轉(zhuǎn)換成電訊號(hào)，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極,，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度,，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。
三,、實(shí)驗(yàn)儀器
日立S3400掃描電子顯微鏡(日本電子株式會(huì)社)
四,、實(shí)驗(yàn)步驟.
1.樣品的制備
2.儀器的基本操作
1)開啟穩(wěn)壓器及水循環(huán)系統(tǒng);
2)開啟掃描電鏡及能譜儀控制系統(tǒng);
3)樣品室放氣，將已處理好的待測(cè)樣品放入樣品支架上;
4)當(dāng)真空度達(dá)到要求后,，在一定的加速電壓下進(jìn)行微觀形貌的觀察,。
五、觀察結(jié)果