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Nanoscribe發(fā)布全新工業(yè)級(jí)高精度無掩膜光刻系統(tǒng)

閱讀:6403        發(fā)布時(shí)間:2021/11/11
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全新Quantum X shape:
重新定義高精度,,高產(chǎn)量,,體驗(yàn)感

 

全新Quantum X shape系統(tǒng)作為Nanoscribe工業(yè)級(jí)無掩膜光刻系統(tǒng)Quantum X平臺(tái)產(chǎn)品系列的第二臺(tái)設(shè)備,,可實(shí)現(xiàn)在25 cm²面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),,大大推動(dòng)了生命科學(xué),微流體,,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作,。Quantum X shape作為具備光敏樹脂自動(dòng)分配功能的直立式打印系統(tǒng),非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造,。

 

作為Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),,Quantum X shape用于快速原型制作和晶圓級(jí)批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力,。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),,可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供*的設(shè)計(jì)自由度,。Quantum X shape可實(shí)現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對(duì)于晶圓級(jí)批量生產(chǎn)尤其重要,這對(duì)于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義,??偠灾撓到y(tǒng)拓寬了3D微納加工在多個(gè)科研領(lǐng)域和工業(yè)行業(yè)應(yīng)用的更多可能性(如生命科學(xué),、材料工程,、微流體、微納光學(xué)、微機(jī)械和微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)等),。

 

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實(shí)現(xiàn)最高精度制作3D微納加工技術(shù)

雙光子聚合(2PP)是一種可實(shí)現(xiàn)最高精度和*設(shè)計(jì)自由度的增材制造方法,。而作為同類最佳的3D微加工系統(tǒng)Quantum X shape具有下列優(yōu)異性能:

  • * 在所有空間方向上低至 100 納米的特征尺寸控制,適用于納米和微米級(jí)打印

  • * 制作高達(dá) 50 毫米的目標(biāo)結(jié)構(gòu),,適用于中尺度打印

 

 

優(yōu)化平衡精度和速度以提高產(chǎn)量

高速3D微納加工系統(tǒng)Quantum X shape可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異形狀精度和高精度制作,。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了高科技振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,同時(shí)還離不開工業(yè)級(jí)飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅(jiān)固的花崗巖操作平臺(tái),。Quantum X  shape具有激光焦點(diǎn)軌跡控制,,可操控振鏡加速和減速至最佳掃描速度,并以 1 MHz 調(diào)制速率動(dòng)態(tài)調(diào)整激光功率,。

Quantum X shape 帶有*的自動(dòng)界面查找功能,,可以以低至 30 納米的精度檢測基板表面。這種在最高掃描速度下的納米級(jí)精度體現(xiàn),,再加上自校準(zhǔn)程序,,可在最短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)可靠和準(zhǔn)確的打印,為 3D 微納加工樹立了新,。這些優(yōu)異的性能使Quantum X shape 成為快速原型制作和應(yīng)用于微納光學(xué)

 

 

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使用Nanoscribe微納加工技術(shù)制作的3D微針,,輕松實(shí)現(xiàn)具有高縱橫比,形狀精度和鋒利邊緣的不同設(shè)計(jì)變化,。

 

簡單高效的工作流程以實(shí)現(xiàn)最佳體驗(yàn)感

光敏樹脂的自動(dòng)分配功能對(duì)于晶圓級(jí)加工和小批量生產(chǎn)的工業(yè)制造十分重要,。用戶還可以通過設(shè)備的集成觸控屏直接或遠(yuǎn)程訪問Quantum X shape打印系統(tǒng)來控制打印作業(yè)。通過遠(yuǎn)程訪問軟件nanoConnectX ,,用戶可以看到觸控屏的顯示選項(xiàng)并操控所有功能,,實(shí)現(xiàn)從任何地方啟動(dòng)、監(jiān)控和控制連接打印系統(tǒng)的打印作業(yè)進(jìn)程,。這使得整個(gè)小組成員(例如研究小組貨部門所有成員)均可在個(gè)人電腦訪問打印系統(tǒng),。實(shí)現(xiàn)了盡可能限度減少實(shí)驗(yàn)室準(zhǔn)備時(shí)間,簡化并提高整個(gè)制備,、執(zhí)行和監(jiān)控打印作業(yè)效率,,并在共享系統(tǒng)時(shí)大大提升團(tuán)隊(duì)協(xié)作。

 

 

3D微納加工新勢力助力未來科技

Quantum X shape作為理想的快速成型制作工具,,可實(shí)現(xiàn)通過簡單工作流程進(jìn)行最高精度和高設(shè)計(jì)自由度的制作,。作為2019年推出的第一臺(tái)雙光子灰度光刻 (2GL ®) 系統(tǒng)Quantum X的同系列產(chǎn)品,Quantum X shape提升了3D微納加工能力,,即做到大限度平衡精度和速度以實(shí)現(xiàn)高精度增材制造,,以達(dá)到高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量??偠灾?,工業(yè)級(jí)Quantum X 打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結(jié)構(gòu)的微制造工藝,,適用于晶圓級(jí)批量加工。

 

 

 

 

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