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　　一,、納米壓印技術(shù)是一種新型的微納加工技術(shù),。該技術(shù)通過機械轉(zhuǎn)移的手段，達到了超高的分辨率,，有望在未來取代傳統(tǒng)光刻技術(shù),，成為微電子、材料領(lǐng)域的重要加工手段,。
 

　　二,、納米壓印技術(shù)，是通過光刻膠輔助,，將模板上的微納結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到待加工材料上的技術(shù),。報道的加工精度已經(jīng)達到2納米，超過了傳統(tǒng)光刻技術(shù)達到的分辨率,。
 

　　三,、過程：
 

　　第一步是模板的加工。一般使用電子束刻蝕等手段,，在硅或其他襯底上加工出所需要的結(jié)構(gòu)作為模板,。由于電子的衍射極限遠小于光子，因此可以達到遠高于光刻的分辨率,。
 

　　第二步是圖樣的轉(zhuǎn)移,。在待加工的材料表面涂上光刻膠，然后將模板壓在其表面,，采用加壓的方式使圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上,。注意光刻膠不能被全部去除，防止模板與材料直接接觸，損壞模板,。
 

　　第三步是襯底的加工,。用紫外光使光刻膠固化，移開模板后,，用刻蝕液將上一步未去除的光刻膠刻蝕掉,，露出待加工材料表面，然后使用化學刻蝕的方法進行加工,，完成后去除全部光刻膠,，最終得到高精度加工的材料。
 

　　四,、優(yōu)勢特點：由于納米壓印技術(shù)的加工過程不使用可見光或紫外光加工圖案,，而是使用機械手段進行圖案轉(zhuǎn)移，這種方法能達到很高的分辨率,。報道的最高分辨率可達2納米,。此外，模板可以反復使用,，無疑大大降低了加工成本,，也有效縮短了加工時間。因此,，納米壓印技術(shù)具有超高分辨率,、易量產(chǎn)、低成本,、一致性高的技術(shù)優(yōu)點,，被認為是一種有望代替現(xiàn)有光刻技術(shù)的加工手段。