德國Nanoscribe雙光子高精度微納3D打印系統(tǒng)的優(yōu)勢
隨著結(jié)構(gòu)的微小化,已有多種3D打印方案,,但都存在諸多限制,,未能有效解決打印尺寸與微結(jié)構(gòu)精度之間的矛盾,3D結(jié)構(gòu)打印的保真度與可靠性不佳,。在諸多打印方案中,,市場上有兩種微結(jié)構(gòu)3D打印技術(shù):
1、利用超快激光和材料非線性的“雙光子3D打印“,分辨率高,,理論可達0.1微米,。串行寫入模式,效率極低,、對環(huán)境穩(wěn)定要求*,;耗時長,打印可靠性低,;打印尺寸<300微米;受制于打印材料的非線性特性和處理工藝限制,,3D結(jié)構(gòu)打印一致性很難保證,。
2、光固化3D打?。⊿LA),,采用光固化膠槽的供膠、利用DLP投影光學(xué)系統(tǒng),,逐層打印,,形成3D結(jié)構(gòu)。通常采用的光學(xué)系統(tǒng)投影比例1:1,,SLA打印面積>7毫米X5毫米(單幀),,分辨率>7微米,打印特征尺寸>50微米,。提高分辨率,,意味著打印面積變小。由于分層打印過程中的累積曝光效應(yīng),,深微結(jié)構(gòu)易展寬,,產(chǎn)生較大結(jié)構(gòu)失真。為降低累積曝光對3D結(jié)構(gòu)展寬的影響,,SLA打印要求光固化膠對光有強吸收,,導(dǎo)致材料成本升高,3D打印的保真度與打印膠的特性嚴(yán)重依賴,。
因此,,已有3D打印方案都存在打印面積與微結(jié)構(gòu)分辨率不兼容、打印保真度和可靠性不佳等問題,;對打印材料的特性依賴嚴(yán)重,,材料價格昂貴。已有3D打印設(shè)備,,均不支持微光刻的功能,。
德國Nanoscribe雙光子高精度微納3D打印系統(tǒng)PhotonicProfessionalGT2可以解決以上問題,是目前*的打印精度高的3D打印機。跟傳統(tǒng)的以激光立體光刻為代表的高精3D打印機相比,,利用雙光子微光刻原理的高精度3D微納打印系統(tǒng)PPGT2系列能夠輕松打印出精細結(jié)構(gòu)分辨率高出100倍的三維微納器件,。