深圳市普索進出口貿(mào)易有限公司 李沛 133 -1650 -1405(同V)
深圳市普索進出口貿(mào)易有限公司(普索貿(mào)易)是一家專業(yè)經(jīng)營工控行業(yè)備件進口的公司,公司依托德國分公司在歐盟區(qū)域常年的采購經(jīng)驗,,與歐盟境內(nèi)3000多個工控品牌,,5000多家供應商建立起長久的合作,為客戶提供100%原裝正品的工業(yè)產(chǎn)品及零部件的同時提供優(yōu)質(zhì)的價格及服務,。
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Kelpie AB 0.355590586 H29-30LL Sweden 84195000 換熱器
phoenix 0.655766558 PSR-SPP-24DC/TS/S Germany 8536411000 繼電器 用途:電路安全控制用,,電壓24V
celduc 0.863400348 PTFA1103 德國 9026100000 液位傳感器 功能:檢測液位,檢測對象:液體
Hormec 0.223965739 611010 瑞士 彎頭
Bürkert 0.0495765 8605 178356 德國 9032899090 閥門定位器 用途:閥門用,,原理:通過檢測閥芯位置對執(zhí)行器發(fā)出相應指令,,將閥芯位置保持在設定值,功能:對閥芯位置進行定位控制,,自動控制,,閉環(huán)控制,不帶執(zhí)行機構(gòu)
Mazurczak 0.225529724 4521200001 德國 9026100000 液位傳感器 功能:檢測液位,,檢測對象:液體
wurth 0.808558274 071553750 Germany 9031809090 斷路點測試儀 用途:電路檢測用,,原理:通過探頭檢測電線靜電場,斷點處無電壓則無靜電場生成,,通過感應靜電場變化就能檢測到電路的斷點,,功能:檢測電線斷點,,有測量結(jié)果顯示,燈光提示斷點
STEGO 0.187715603 264059 Germany 8536901100 接插件 用途:信號傳輸用,,電壓12V
VPG 0.911068838 SCP-1 USA 砂紙
microsonic 0.419863551 ZWS-15/BE/MAN1.2B 德國 9026100000 液位傳感器 功能:檢測液位,,檢測對象:液體
ASCO 0.358653033 SCE210D095 英國 8481804090 開關(guān)閥 用途:管道用,功能:控制管道流體的通斷,,閥芯材質(zhì):鋼鐵,,兩位兩通
VISION&CONTROL 0.154710042 T150/0,19 Germany 9002199010 鏡頭 用途:適用于VISION&CONTROL牌GigE攝像機,已裝配
Luedecke 0.344291366 ESH 13 T 德國 7412209000 銅接頭 用途:用于管子之間連通,,材質(zhì):黃銅合金,,種類:接頭,成分:59%銅41%鋅
fesfilter 0.480876308 Kettenrad t=1/2" z=16,d=18,I=61 chain wheel Germany 8483900090 齒輪 用途:工業(yè)機械傳動用
meilhaus 0.120877766 USB-COM-M 德國 8471800000 接口擴展模塊 用途:工控機用
Bürkert 0.02001692 6014 278682 德國 8481802190 換向閥 用途:管道用,,電磁式,,功能:換向,閥芯材質(zhì):鋼鐵,,兩位三通
katko 0.90560882 KER 340 Y/R Germany 控制器
hahn+kolb 0.523219875 51056200 Germany
Bürkert 0.707646619 00134615 德國 8481802990 換向閥 用途:管道用,,非電磁式,功能:換向,,閥芯材質(zhì):鋼鐵,,兩位四通
wurth 0.120713995 71522110 Germany 8204120000 扳手 材質(zhì):合金鋼,種類:扳手,,式樣:可調(diào)式
GE 0.986632774 PTX-5072-TC-A3-CB-H1-PA 德國 9026209090 壓力傳感器 功能:檢測壓力,,檢測對象:液體和氣體
Sfernice 0.475463832 176SF1B102W05615 3320010 德國 8533400000 電位器 用途:電機用
HASCO 0.108172088 H1225/16x24x3000 (=Z1225) 296368 德國 8544421100 電纜 用途:控制系統(tǒng)用,電壓60V
SIKA 0.018838937 VH308M0ANALY04 德國 9026100000 流量傳感器 功能:檢測流量,,檢測對象:液體
Pantron 0.23108404 9SIR054 德國 光電傳感器
SCHMERSAL 0.325009486 EX-AZM 161SK-12/12RK-024-3D Germany 8505909090 線圈鎖定裝置 用途:工業(yè)設備鎖定用,,原理:線圈通電產(chǎn)生磁力吸引
Moog 0.901927737 SM34165DT-DE-PB 德國 8501310000 伺服電機 用途:工業(yè)機械用,直流電機,,功率615W
HAWE 0.698894375 R7,0 47022026-00 德國 8413503990 液壓柱塞泵 驅(qū)動方式:液壓,,原理:往復式,用途:工業(yè)液壓系統(tǒng)用
R+W 0.390981795 BKL/300/XX 德國 聯(lián)軸器
phoenix 0.336692109 1604903 Germany 85389099 "Geh?use
Teile, erkennbar ausschlie?lich oder haupts?chlich für Ger?te der Pos. 8535, 8536 oder 8537 bestimmt, a.n.g."
Barksdale 0.393912286 8231-PL1-B 德國 9026209090 壓力傳感器 功能:檢測壓力,,檢測對象,,液體和氣體
phoenix 0.391904729 CB E1 24DC/4A S-C P Germany 斷路器
microsonic 0.216731401 dbk-4/Empf/CEE/O/M18 Germany 9031809090 超聲波傳感器 用途:工業(yè)流水線上用,功能:檢測有無產(chǎn)品靠近,,原理:通過發(fā)射超聲波信號并接收反射信號來檢測有無產(chǎn)品靠近,,無測量結(jié)果顯示
Bürkert 0.469817964 227386 德國 9032899090 閥門定位器 用途:閥門用,,原理:通過檢測閥芯位置對執(zhí)行器發(fā)出相應指令,,將閥芯位置保持在設定值,功能:對閥芯位置進行定位控制,,自動控制,,閉環(huán)控制,,不帶執(zhí)行機構(gòu)
CHERRY 0.189036192 G84-5500LUMDE-0 德國 8471607100 鍵盤 機型:工控機通用,連接方式:有線,,工控機用
Z-Laser 0.50128193 Z1D-635-pe-24 ZD0000217 德國 激光器
SEW 0.233895843 ES1R OG72DN1024R Germany 8543709990 編碼器 用途:工業(yè)控制設備用,,功能:將旋轉(zhuǎn)位移變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘栞敵?span style="white-space:pre">
LUMBERG 0.491943679 ASBSV-8-5 BLA00283 德國 8536690000 插座 用途:工業(yè)電路連接用,電壓24V
HAWEKA 0.40842382 ProGrip TR 40x3 143 403 003 德國 7318160000 螺母 材質(zhì):鋼鐵
VESTER 0.369564537 6535-00000-3022 PSL-30-30/W-3-P 德國 9031499090 光電傳感器 用途:工業(yè)控制設備用,,功能:通過光電反射來感應有無物體在固定區(qū)域,,無測量結(jié)果顯示
磁控濺射
磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種,。一般的濺射法可被用于制備金屬,、半導體、絕緣體等多材料,,且具有設備簡單,、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點,,而上世紀 70 年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實現(xiàn)了高速,、低溫、低損傷,。因為是在低氣壓下進行高速濺射,,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率,。
磁控濺射定義
在二極濺射中增加一個平行于靶表面的封閉磁場,借助于靶表面上形成的正交電磁場,,把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域來增強電離效率,,增加離子密度和能量,從而實現(xiàn)高速率濺射的過程,。
磁控濺射原理
磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下,,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子,;新電子飛向基片,,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,,使靶材發(fā)生濺射,。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,,而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用,,產(chǎn)生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,,其運動軌跡近似于一條擺線,。若為環(huán)形磁場,,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),,并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材,從而實現(xiàn)了高的沉積速率,。
隨著碰撞次數(shù)的增加,,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠離靶表面,,并在電場E的作用下最終沉積在基片上,。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,,致使基片溫升較低,。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復雜的散射過程,,和靶原子碰撞,,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,,形成級聯(lián)過程,。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來,。
磁控濺射種類
磁控濺射包括很多種類,。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材,。
靶源分平衡和非平衡式,,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強,。平衡靶源多用于半導體光學膜,,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,,大致可分為平衡態(tài)和非平衡磁控陰極,。
平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,,增加碰撞幾率,,提高了離化效率,,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,,靶材利用率相對較高,,但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面,,基片區(qū)域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術(shù)概念,,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內(nèi)磁極,兩極磁力線在靶面不*閉合,,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區(qū)域,,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片區(qū)域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,,若磁鐵靜止,,其磁場特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,,可采用旋轉(zhuǎn)磁場,。但旋轉(zhuǎn)磁場需要旋轉(zhuǎn)機構(gòu),同時濺射速率要減小,。
旋轉(zhuǎn)磁場多用于大型或貴重靶,。如半導體膜濺射。對于小型設備和一般工業(yè)設備,,多用磁場靜止靶源,。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便,。這是因為靶(陰極),,等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路,。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了,。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強的電容,。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容,。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,,同時接地技術(shù)很復雜,,因而難大規(guī)模采用,。為解決此問題,,發(fā)明了磁控反應濺射。就是用金屬靶,,加入氬氣和反應氣體如氮氣或氧氣,。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉(zhuǎn)化,,與反應氣體化合生成氮化物或氧化物,。磁控反應濺射絕緣體看似容易,而實際操作困難,。
主要問題是反應不光發(fā)生在零件表面,,也發(fā)生在陽極,,真空腔體表面,以及靶源表面,。從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等,。德國萊寶發(fā)明的孿生靶源技術(shù),,很好的解決了這個問題,。其原理是一對靶源互相為陰陽極,,從而消除陽極表面氧化或氮化,。冷卻是一切源(磁控,,多弧,離子)所必需,,因為能量很大一部分轉(zhuǎn)為熱量,,若無冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達一千度以上從而溶化整個靶源,。