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愛德華EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用,，如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應(yīng)用,。EPX 系列以極輕,、極小的 封裝提供工具上泵送功能,，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的*單軸再生 Holweck® 分級(jí)機(jī)構(gòu),，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力,。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具,，可以遠(yuǎn)程安裝
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
愛德華EPX 180真空干泵
應(yīng)用目標(biāo)應(yīng)用包括：負(fù)載鎖計(jì)量傳輸腔
灰化/剝離
PVD
愛德華EPX 180真空干泵
主要特性和優(yōu)勢(shì)
占地面積小且重量輕 - 作為可用的 小工具上泵之一,，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧,，增加了安裝 選項(xiàng),。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和 安裝成本,，如果需要也可遠(yuǎn)程使用,。
受zhuanli保護(hù)的*泵機(jī)構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
超清潔機(jī)構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑,，這可能成為制程 工具中污染源,。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源,。
非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次,，zui大程度地延長了泵的 使用壽命,。
運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲,。
泵系列
EPX180L,、LE、N,、NE
EPX180 TwinL,、LE、N,、NE
EPX500L,、LE、N,、NE
本公司作為愛德華中國區(qū)長期經(jīng)銷商以優(yōu)于同行的服務(wù)質(zhì)量和客戶至上的服務(wù)理念贏的廣大客戶的肯定和認(rèn)可 希望與更多愛德華及其他真空泵客戶合作共贏
縱鵬機(jī)械設(shè)備有限公司是一家長期服務(wù)于真空泵領(lǐng)域內(nèi)設(shè)備及配件的高科技企業(yè),注冊(cè)資產(chǎn)100萬,公司銷售人員達(dá)20余人,自公司成立一直致力于真空設(shè)備及配件的研究,、推廣、銷售,、安裝及維修領(lǐng)域,。
本公司經(jīng)過多年不懈的努力,，已擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)銷售團(tuán)隊(duì)及精英人員,所經(jīng)營的產(chǎn)品國內(nèi)外,公司以質(zhì)量優(yōu)良、操作簡單,高性價(jià)比及周到的售后服務(wù),使公司的效益得到迅速發(fā)展,為公司的長遠(yuǎn)發(fā)展打下牢固的基礎(chǔ),。
公司主要經(jīng)營:進(jìn)口真空泵品牌德國（BUSCH）普旭,、德國（BECKER）貝克、德國 （LEYBOLD）菜寶,、德國 （RIETSCHLE）里其樂,、英國( EDWARDS)愛德華、韓國(MVO)斗一,、日本 （ORION）好利旺,、日本愛發(fā)科;自主品牌有單級(jí)旋片泵ZP系列，雙級(jí)真空泵ZS系列,，羅茨真空泵ZLB系列,，活塞泵ZH系列;并提供優(yōu)恵的真空泵配件(進(jìn)口):油霧分離器、碳精片,、葉片,、真空泵油、密封套件,、空氣過濾器,、軸承、單向閥,、連軸器,、止回閥、機(jī)油格等,。
產(chǎn)品廣泛適用于:電光源,、真空鍍腹、機(jī)械,、光盤,、治金、石油,、化工,、造紙、食品,、醫(yī)藥,、電子、電力,、陶瓷,、引水、印染、制糖,、制冷設(shè)備,、工藝吸塑、科研,、干燥及汽車維修等單位,。
售后服務(wù):公司擁有專業(yè)的維修技術(shù)人員及檢測(cè)設(shè)備,并長期提供真空泵技術(shù)指導(dǎo)及修理、維護(hù),、保養(yǎng),、檢測(cè)、咨詢等服務(wù);服務(wù)承諾:凡在本公司所購真空設(shè)備,均享有一年免費(fèi)保修期,并終身提供技術(shù)支持,。
公司秉承著"誠信為本、信譽(yù)至上"的宗旨,不斷創(chuàng)新改進(jìn),完善售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò),。我們以*xiu的產(chǎn)品,，zui可靠的質(zhì)量,*恵的價(jià)格,的的服務(wù),愿同各界朋友互相合作,開拓美好未來。
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