愛德華EH500羅茨泵

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵,，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar,、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級,。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠,。

應用

半導體制程,、真空蒸餾、真空包裝,、鋼脫氣,、薄膜覆層、真空冶金,、低密度風洞,、空間模擬、真空浸漬,、油干燥和脫氣,、制藥冷凍干燥,、CO2 激光

 

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合,。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性,。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行,。

牢靠且防腐蝕,。

*的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造,。

經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低,。

軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化,，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要zui高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能,。此外,，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn),、運行噪音小,，而這些特點正是*技術(shù)設備的制造商所需要的。

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

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