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激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今*的gao精度,、gao靈敏度的測量儀器,，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。

激光干涉儀集光、機,、電、計算機等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時,；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度,、抗*力強,、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)highest4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文,、英文和俄文語言,，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/span>

具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、highest測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

　　它的系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺。

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償,。

　激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束,，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器,，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）,。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號,。

　　若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時,，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化,。