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真空泵在其工作壓強下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而,，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來,，互相補充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵,，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來,，便會使真空裝置得到較好的真空度,。

真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空,，有的真空泵出口壓強低于大氣壓,，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用,。真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵,，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施,，如加冷阱、障板,、擋油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求。

真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實堅固的場所,，周圍應(yīng)留有充分的余地,，便于檢查、維護(hù),、保養(yǎng),。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,，確保真空泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn),，振動小。

真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,，且要求管路短而少彎頭,。（焊接管路時應(yīng)清除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔,。）