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自動(dòng)測(cè)量顯微鏡(HO-AMS-DE01)
閱讀:81 發(fā)布時(shí)間:2024-11-19HO-AMS-DE01 測(cè)量系統(tǒng)配備了雙成像系統(tǒng),用于快速測(cè)量,。成像系統(tǒng) 1 配備了用于大面積成像的低倍率鏡頭,,成像系統(tǒng) 2 則配備了用于高倍率成像的長(zhǎng)工作距離顯微鏡物鏡。成像系統(tǒng) 1 只需 4 幅圖像即可捕捉到 200mm*100mm 的樣品區(qū)域,。高精度 XY 電動(dòng)平臺(tái)配有線性編碼器,,并將使用 DRO 顯示編碼器的反饋信息。帶自動(dòng)對(duì)焦算法的電動(dòng) Z 聚焦平臺(tái)用于樣品聚焦,。除了雙攝像頭系統(tǒng)外,,還配備了雙目觀察裝置,用于對(duì)樣品進(jìn)行目視檢查,。
規(guī)格
測(cè)量精度 (3 + 0.03L) µm,。L 是測(cè)量長(zhǎng)度,單位毫米
讀數(shù)分辨率 1 µm(帶 DRO 的線性編碼器)
觀察頭 Siedentopf 三目觀察頭,,30 度傾斜,,45-75 IP
觀察方法 明視野(雙成像系統(tǒng))
目鏡 10 倍寬視野,F(xiàn)N 20,,屈光度可調(diào)
照明 1. 垂直反射 LED 照明(外顯微鏡),,強(qiáng)度可調(diào) 2.
2. 傾斜 LED 照明,強(qiáng)度可調(diào)
選配
1. LWD Plan Apo 10 倍顯微鏡物鏡
NA: 0 .30
工作距離:34 毫米
目鏡視場(chǎng)角:2 毫米
相機(jī)視場(chǎng)角:0 .655 毫米 x 0.492 毫米
2. LWD Plan Apo 20X 顯微鏡物鏡
NA: 0 .35
工作距離:29 毫米
目鏡視場(chǎng)角:1 毫米
照相機(jī)視場(chǎng)角:0 .327 毫米 x 0.214 毫米
3. LWD Plan Apo 50X 顯微鏡物鏡
NA: 0 .50
工作距離:17 毫米
目鏡視場(chǎng)角:0 .4 毫米
照相機(jī)視場(chǎng)角:0 .131 毫米 x 0.0984 毫米
成像系統(tǒng) 1
成像鏡頭: 16 毫米素鏡頭
工作距離:160 毫米
有效放大倍率:0 .082 X
攝像頭視場(chǎng)角:80 毫米 * 60 毫米
攝像頭: ? " CMOS 彩色 300 萬(wàn)像素
成像系統(tǒng) 2
成像鏡頭: LWD Plan Apo 5 倍顯微鏡物鏡
工作距離:44 毫米
有效放大倍率 (@5X 物鏡) : 目鏡 50 倍,,相機(jī) 5 倍
目鏡視場(chǎng)角 : 4 毫米
攝像頭視場(chǎng)角:1 .31 毫米 * 0.984 毫米
攝像頭: ? " CMOS 彩色 300 萬(wàn)像素
樣品臺(tái)
電動(dòng) XY 高精度平臺(tái)
測(cè)量范圍:200 毫米 x 100 毫米
編碼器分辨率:1 微米
顯示:DRO
聚焦 帶自動(dòng)對(duì)焦功能的電動(dòng) Z 平臺(tái)
軟件 : 圖像分析儀 - 自動(dòng)掃描,、拼接、定位,、測(cè)量等,。
應(yīng)用
1. 半導(dǎo)體
2. 電氣和電子部件
3. 精密汽車零部件
4. 塑料模具
5. 工具
6. 醫(yī)療器械