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                                                                                             規(guī)格

 手動微機(jī)械手：8 個

 軸：4（XYZ 和傾斜）

 X 行程：10 毫米，Y 行程：10 毫米,，Z 行程：10 毫米

 傾斜：+/- 3 度

 磁性運(yùn)動 - 類似磁性底座

 探頭固定裝置

 2. 底板,，機(jī)械手 SS 磁性底板，可調(diào)節(jié)支撐架 3.

 3. XYZ 手動樣品支架,，帶 4" SS 卡盤 = 1 套

 X 行程：25 毫米,，Y 行程：10 毫米，Z 行程：10 毫米

 4. 探針臺雙目顯微鏡,，帶 Boomstand 和 Z 聚焦臺=1 套

 光學(xué)系統(tǒng)：無限校正

 觀察方法：明視場

 照明 ： 反射式（同軸和成角度）

 照明系統(tǒng)：高亮度白色 LED

 鼻托：旋轉(zhuǎn)式,，四重，帶正向精確單擊停止裝置

 觀察頭：Siedentopf 三目觀察頭,，30 度,，48-75 毫米 IP 調(diào)整

 目鏡：10 倍寬視場目鏡，F(xiàn)N = 20 毫米,，光圈可調(diào),。

 調(diào)焦：手動 Z 平臺

 物鏡：LWD Plan Apo 5 倍（NA = 0.14，WD = 34mm,，視場角目鏡 = 4mm,，視場角相機(jī) = 1.14mm x 0.856mm，對角線 1.426）

                                                                                               項(xiàng)目包括

 1. 帶 8 個微型機(jī)械手的探針站

 2. 底板,、機(jī)械手 磁性 SS 底板,、可調(diào)支撐架

 3. XYZ 手動樣品支架，帶 4" SS 卡盤

 4. 探針臺雙目顯微鏡,，帶 BOOM 支架和 Z 聚焦臺

                                                                                                 相機(jī)規(guī)格

光學(xué)格式：1/2.5 英寸 CMOS

有源成像器尺寸：5.70 毫米 x 4.28 毫米,，對角線 7.13 毫米

有效像素：2592 x 1944（500 萬像素）

像素尺寸：2.2 x 2.2 um

彩色濾光片陣列：RGB Bayer 模式

快門類型 ： 電子滾動快門（ERS）

幀頻 ： 全分辨率 - 高達(dá) 8 幀/秒,，VGA - 高達(dá) 70 幀/秒

ADC 分辨率：12 位,，片載

像素動態(tài)范圍：70.1 dB

工作溫度：-30°C 至 +70°C

功耗：全分辨率 15 fps 時為 381mW

接口：USB2.0