真空管式電阻爐 具有合理的性能設(shè)計,,集多項功能于身,安全性,,可靠性,,實用性均達理想效果。
1.溫度1200℃ .1400℃.1700℃,加熱區(qū)為300mm,。
2.爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu),,雙層爐殼之間裝有風機,,可以快速升降溫,,爐殼表面溫度低。
3.爐管采用99高純剛玉管,、兩端采用SUS304高真空法蘭密封,。
4.爐膛材料采用的進口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,節(jié)能50%,,加熱爐膛為體化,,方便取放實驗物料、更換爐管,。加熱元件采用硅鉬棒,。
5、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),,儀表控制度為±1℃,,具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制,、自整定能力并可編制各種升溫程序,,具有超高溫報警功能,,具有熱電偶損壞斷電功能,具有內(nèi)置參數(shù)密碼控制功能,。
6,、升溫速度為0-20℃/min,可編寫30段自動升溫程序,,可控硅控制,,配備數(shù)顯LED電壓表、電流表,,選用B型熱電偶,。
7、可選配RS-485通訊接口,,數(shù)據(jù)管理軟件,,具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線,校正溫度偏離誤差的功能,,可以管理多臺設(shè)備和遠程故障診斷分析,。
8、多種安全防護設(shè)計,,安全性能好,,使用壽命長。
9,、電爐可以抽真空,、通氣氛,真空度可以達到10pa(機械泵),,如果需要更高真空度可以選擇分子泵,,達到6.67x10-3pa。
10,、爐體尺寸:704x695x1100mm(深x寬x高),,重量:210kg。
一,、 標準配置:
1,、304不銹鋼法蘭1套
2、密封圈4只
3,、爐塞 4只
4,、爐勾 1把
5、說明書,、保修卡,、合格證 1套
6、剛玉管 1支
二、 選配配置:
1,、玻璃轉(zhuǎn)子流量計,、質(zhì)子流量計和進出口管道
2、真空泵(機械泵,、分子泵)
3,、安裝調(diào)試,培訓(xùn)
4,、剛玉坩堝
5,、備品備件
6、報警器(超溫,、設(shè)備異常)與蜂鳴器(設(shè)備運行結(jié)束提示
7,、自動進氣(氣體保護)、自動放氣(超壓),、自動抽真空
8,、路及多路CVD供氣系統(tǒng)
9、真空計
三,、真空管式電阻爐技術(shù)參數(shù):
