真空氣氛管式爐技術(shù)參數(shù):
加熱區(qū)域:外徑φ60*加熱區(qū)L300
工作溫度:300℃
高溫度:1400℃
大真空度:-0.1Mpa
密封方式:304不銹鋼KF法蘭
可能氣氛:所有惰性氣體,氮氣,、氬氣,、二氧化碳、水蒸氣
升溫速率:≤30℃/Min
控溫度:±1℃
加熱元件:硅碳棒
熱電偶:K型
工作電壓:220V 50HZ
功率:5KW
管材:99剛玉管
二,、真空氣氛管式爐-中奧菲達特點:
爐體結(jié)構(gòu):
1.采用雙層殼體結(jié)構(gòu),,并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃(參考值,,詳情請)
2.設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵,,設(shè)備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(恒溫區(qū)和密封圈的密封性)(圖片查看詳細資料)
3.高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)
4.該爐可作為退火或擴散爐,,大可用于8”晶片放在對應(yīng)石英舟中
加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,,可以大大程度延長使用壽命)
密封法蘭:
1.采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr(參考值,詳情請)
2.可選購套溫度測試裝置(鎧裝熱偶,、補償導(dǎo)線和溫度儀表),,用于測試爐管內(nèi)部的溫度
3.左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭
4.右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,,方便連接到kf40適用的波紋管,、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,,你需要個kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭)
溫控系統(tǒng):
1.包含款YD518P型溫度控制器
2.PID自動控溫系統(tǒng)
3.智能化30段可編程控制
4.控溫度:±1℃
5.兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制
6.默認DB9 PC通信連接端口
7.通過MET認證
8.可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
凈重:約200 kg
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