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真空度測試儀的測試原理

利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同,，來測試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣,。
將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距,，動(dòng)觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流,。由于漏電電流非常弱,，易于受到外界不同的干擾而降低精度,。因此，必須通過勵(lì)磁線圈繞于滅弧室外側(cè),，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場來,，加速離子流,，按比例放大采樣率。這樣,，在脈沖磁場的作用下,，滅弧室中的電子作螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系,。對于直徑不同的真空管，在同等真空度條件下,，離子電流的大小也不相同,。通過實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后,，調(diào)用內(nèi)部相對應(yīng)的比例參樣,，加以運(yùn)算，得出準(zhǔn)確真實(shí)真空度值,。也就是說通過查詢該管型的離子電流——真空度曲線獲得該管型的真空度,，這一過程由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成。

技術(shù)參數(shù)

?所測真空泡：電壓等級6KV-35KV以上
?測量范圍：10-5-10-1Pa
?測量誤差：10-4-10-1Pa中誤差±10%
?測量分辨率：10-5 Pa
?漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿,，本機(jī)處于保護(hù)狀態(tài),。
?允許環(huán)溫：-20℃-50℃，如在0℃以下測試時(shí)請先將機(jī)器通電20分鐘后再使用,。
?空氣濕度：＜85%RH
?輸入電源：AC220V±10% 50/60HZ
?外形尺寸：350×320×225mm