主要特點(diǎn)：

 排氣路徑短,，減少反應(yīng)物沉積

干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵,，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑短，不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象,。

 線形密封性佳,，泵浦性能優(yōu)

轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳,，轉(zhuǎn)子能以較大的咽合間隙達(dá)到更快的抽氣效果,，由于咽合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換,。

高壓段抽速快,運(yùn)轉(zhuǎn)功率低,噪音低,。

可依制程/環(huán)境需求選用水冷(防爆)或氣冷(防爆)馬達(dá)。氣冷馬達(dá)機(jī)型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng),能使用在無冷卻水系統(tǒng)的環(huán)境,。

結(jié)構(gòu)簡單,，故障率低，維修容易

螺旋式真空泵因只需利用一對轉(zhuǎn)子互相咽合達(dá)到密封效果,，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計,，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險。且因其結(jié)構(gòu)單純,，拆解維修也較容易,，因此能縮短維修時程，降低維修費(fèi)用,。

微電腦操作,，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

微電腦操控器提供真空泵浦簡易的操作方式并能顯示泵浦完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),，方便使用者對泵浦應(yīng)用狀況進(jìn)行調(diào)整,，在泵浦產(chǎn)生問題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng),遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場即能查詢泵浦之運(yùn)轉(zhuǎn)狀況,。