漢鐘PS干式螺桿真空泵，廣泛應(yīng)用于
·面板TFT-LCD,Touch Panel
·太陽(yáng)能Solar
·冶金系統(tǒng)Metallurgical System
·鍍膜Coating
·電漿制程sma processes
·干燥處理Drying Process
·制程氣體抽取Degassing
·生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
·化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
漢鐘各種型號(hào)：PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/
PD120/PD300/PD400/PD650/PD800
主要特點(diǎn)：
排氣路徑短,，減少反應(yīng)物沉積
干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵,，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑短，不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象,。
線形密封性佳，泵浦性能優(yōu)
轉(zhuǎn)子密封線形,，轉(zhuǎn)子密封性佳,，轉(zhuǎn)子能以較大的咽合間隙達(dá)到的抽氣效果，由于咽合間隙較大,，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，故障率低,，維修容易
螺旋式真空泵因只需利用一對(duì)轉(zhuǎn)子互相咽合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì),，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn),。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易,，因此能縮短維修時(shí)程降低維修費(fèi)用,。
微電腦操作,，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

東莞市崇友真空機(jī)電有限公司承接中國(guó)臺(tái)灣螺旋式漢鐘真空泵PS系列真空泵維修