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應用分享|對光學膜層進行表征的前沿研究案例

閱讀:1523      發(fā)布時間:2021-1-27
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如果您的工作是和高反膜或抗反射膜的性能表征相關,,那您一定知道它有多麻煩!但如果告訴您,,有一鍵解決膜層表征的辦法,,僅僅是輕擊鼠標就能得到膜層任意波長的特性,,并且精度還很高,您是否想嘗試一下,?

新一代的Glacier-C超連續(xù)光腔衰蕩反射儀正是為此而生,。

 

//可測量到的鏡面反射率數(shù)值高達99.9995%

常規(guī)的基于吸收和反射的測量方法靈敏度有限,,難以準確表征如今的超反射涂層性能。這兩種方法測量的反射率極限的典型值<99.9%,,對應著光損耗>1000ppm,。

而腔衰蕩反射儀,例如超快創(chuàng)新公司(Ultrafast Innovations GmbH)新的Glacier-C產(chǎn)品,,是通過探測光腔內(nèi)的能量衰減來測量光損耗。由于光在腔內(nèi)經(jīng)歷了多次的往返損耗,,每次的損耗越小,,光在腔內(nèi)駐留的時間就越長,終能獲得足夠高的靈敏度,。Glacier-C系統(tǒng)能測量到的樣品的光損耗在1000ppm到5ppm之間,,對應的反射率為99.9%到99.9995%。

 

//測量450nm到2000nm范圍內(nèi)任意波長的膜層特性

當前的反射儀大都是基于激光二極管的方式,,其能提供的測試波長受限于激光的輸出波長,通常只能提供單波長,,雙波長,,或多三波長的測試,。

而Glacier-C產(chǎn)品能為您提供不受限制且特別靈活的波長選擇,,輕擊鼠標就可以在450nm到2000nm范圍內(nèi)選擇任意波長進行測試,簡單又有效,。

您肯定要問了,,這是如何實現(xiàn)的呢?其實,,除了采用腔衰蕩技術,,Glacier-C系統(tǒng)還使用了超連續(xù)譜白光光源和可調(diào)單色濾波器,。超連續(xù)譜白光選擇的是NKT Photonics公司的SuperK Compact光源,可提供超寬的波長范圍,,同時搭配了Superk Select可調(diào)濾波器,,對輸出光譜范圍內(nèi)的任意波長進行選擇。

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這就為用戶提供了特別靈活的膜層表征能力,。只需要一臺設備,,就可以完成反射鏡和膜層在任意波長上的特性表征。

超快創(chuàng)新公司使用Glacier-C在940nm波長測量到的某片鍍膜后的晶圓的反射率損耗曲線,。該曲線數(shù)據(jù)是通過衰蕩腔加入樣品前后的損耗值做差得到的,。這也證明了Glacier-C系統(tǒng)的強大,不僅能測量反射鏡的反射率,,也能對其他表面,,如晶圓或鍍有抗反射膜的光學器件進行寬波段的表征。

Glacier-C能輔助科研人員利用鍍膜設施簡單有效的開發(fā)并表征膜層質(zhì)量,,監(jiān)控鍍膜過程,,設計反射鏡以及研究高反膜和低損耗抗反射膜的特性。

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//助力公司生產(chǎn)和科學研發(fā)

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NKT超連續(xù)譜光纖激光器,,該系列面向行業(yè)近二十年。產(chǎn)品性能穩(wěn)定可靠,,可替代多波長激光器,、低功率寬帶光源(比如ASE、SLED),,廣泛應用于顯微成像,、熒光壽命分析,、光學相干斷層成像,、白光干涉、光譜分析等領域,。

技術參數(shù)

重復頻率:78 – 2MHz(150 kHz或320MHz可選)

光譜范圍:390-2400nm(UV拓展波段可選)    

總功率:6.5W(110mw等不同功率型號可選)    

觸發(fā)輸出抖動:<20ps    

光束質(zhì)量M²:<1.1    

輸出光束:高斯,單模    

輸出選項:準直輸出     

 

該產(chǎn)品操作簡單,,免維護,。豐富的濾波配件設計,,可滿足單波長輸出,、多波長同時輸出,、寬帶輸出等不同應用需要,!

 

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