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9小點來說明真空泵需要注意的事項
1、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,，選用的真空泵的真空度少要510-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級,。
2,、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,。如：擴散泵為10-3~10-7mmHg,，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變換,，其穩(wěn)定地工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg,。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應(yīng)小于110-5mmHg為好,。
3,、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
4,、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而,，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來,，互相補充才能滿足抽氣要求,。
如鈦升泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦,，而三極型濺三射離子泵,，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速,，兩者組合起來,，便會使真空裝置得到較好的真空泵。另外,，有的真空泵不能在大氣壓下工作,，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓,，需要前級泵,，故都需要把泵組合起來使用。
5,、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,，如加冷阱,、障板、檔油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求,。
6、了解被抽氣體成分,，氣體中含不含可凝蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器,、除塵器等。
7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的如何,。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外,。
8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動的泵或采取防振動措施。
9,、真空泵的價格,、運轉(zhuǎn)及維修費用。
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