Sievers Boron Ultra在線超純水硼分析儀是Sievers超純水硼分析儀的最新一代產(chǎn)品——這是市場(chǎng)上僅有的一款能夠連續(xù),、無(wú)人值守地在線監(jiān)測(cè)超純水(UPW)應(yīng)用中萬(wàn)億分之一(ppt)級(jí)含量水平硼的儀器。Sievers Boron Ultra超純水硼分析儀是與半導(dǎo)體制造商合作開(kāi)發(fā)的,,用于控制超純水中的污染物,,如膠體硅。隨著半導(dǎo)體芯片尺寸的不斷縮小,,早期檢測(cè)污染物變得越來(lái)越關(guān)鍵,。Boron Ultra超純水硼分析儀用于盡可能減少和控制來(lái)自離子去除過(guò)程的膠體和離子硅的泄漏,如混合床離子交換和電去離子化(EDI),,以提高芯片產(chǎn)量,。此外,它也用于控制去離子過(guò)程,,以滿足國(guó)際設(shè)備和系統(tǒng)發(fā)展藍(lán)圖(RDS)在半導(dǎo)體超純水中的 50 ppt 的硼的限值。它專(zhuān)為設(shè)備經(jīng)理,、超純水系統(tǒng)業(yè)主以及超純水工藝控制工程師和技術(shù)人員的需求而設(shè)計(jì),。
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