簡(jiǎn)介
Sievers*M9e總有機(jī)碳（TOC）分析儀的“加壓集成在線取樣器（PiOS,，Pressurized Integrated On-Line Sampler）"配件專用于加強(qiáng)微電子應(yīng)用中的超純水（UPW）系統(tǒng)的有機(jī)物監(jiān)測(cè)能力,。在微電子應(yīng)用中（TOC通常小于5 ppb），監(jiān)測(cè)水質(zhì)的微小變化至關(guān)重要,，能夠確保最終產(chǎn)品質(zhì)量和優(yōu)化處理工藝,。
當(dāng)要監(jiān)測(cè)的濃度很低時(shí)，總碳（TC）和無(wú)機(jī)碳（IC）的值非常接近,，因此TOC測(cè)量值（TOC=TC-IC）會(huì)受信噪等干擾因素的影響,。周圍環(huán)境中的微氣泡就是這種干擾源之一，會(huì)導(dǎo)致意外的TOC峰值,。PiOS能給分析儀中的樣品加壓3-5 psig,，抑制氣泡的形成，確保分析儀在低濃度下進(jìn)行準(zhǔn)確的分析,。
驗(yàn)證Pios
在下列條件下進(jìn)行測(cè)試,，驗(yàn)證配置了“加壓集成在線取樣器（PiOS）"和“標(biāo)準(zhǔn)集成在線取樣器（iOS）"的分析儀的低TOC分析性能：
?正常運(yùn)行模式
?Turbo運(yùn)行模式
?各標(biāo)樣的TOC回收率
?各種環(huán)境溫度、入口壓力,、樣品溫度PiOS不影響系統(tǒng)任務(wù)的運(yùn)行,，其中包括校準(zhǔn)、確認(rèn),、儀器檢測(cè)限等系統(tǒng)任務(wù),。在微電子車間進(jìn)行的外部測(cè)試的結(jié)果表明,，使用PiOS時(shí)能夠報(bào)告穩(wěn)定的亞ppb級(jí)的TOC分析結(jié)果。本文將在后面的部分中詳細(xì)報(bào)告此驗(yàn)證的結(jié)果,。
降低噪聲和峰值
與標(biāo)準(zhǔn)iOS相比,，PiOS能夠減少低TOC分析結(jié)果中的TOC峰值和點(diǎn)對(duì)點(diǎn)噪聲（見(jiàn)圖1a和1b）。
此外,，在長(zhǎng)時(shí)間的低TOC（<1 ppb）測(cè)試中,，PiOS能夠報(bào)告穩(wěn)定的結(jié)果和可靠的“儀器到儀器"一致性，如圖2所示,。
與配置標(biāo)準(zhǔn)iOS的Sievers 900 TOC分析儀相比,，配置PiOS的Sievers M9e TOC分析儀的分析結(jié)果顯示出更好的穩(wěn)定性和更少的小尖峰（圖3）。
結(jié)論
PiOS在低濃度（< 5 ppb TOC）應(yīng)用中有更好的有機(jī)物監(jiān)測(cè)性能,，其良好的穩(wěn)定性,、準(zhǔn)確性、“儀器到儀器"一致性對(duì)監(jiān)測(cè)超純水系統(tǒng)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要,。PiOS可安裝于Sievers M9e便攜式分析儀和在線型分析儀,，可以安裝在新分析儀上，也可以作為現(xiàn)有分析儀的升級(jí)配置,。
有了PiOS,，M9e就能有效監(jiān)測(cè)整個(gè)超純水處理過(guò)程中的有機(jī)污染物，如有機(jī)氮化合物和有機(jī)酸,。PiOS能夠不受干擾,，提供穩(wěn)定、準(zhǔn)確,、可靠的分析數(shù)據(jù),，從而優(yōu)化分析儀的在線TOC分析，更有效地監(jiān)測(cè)低ppb甚至亞ppb級(jí)的超純水系統(tǒng),。
參考文獻(xiàn)：
1.Operation,Calibration,and Autozero Guidance for TOC Monitoring in Microelectronics UPW Applications.GE Analytical Instruments.2015.Web.2 Jun 2016.
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