Sievers* 500 RLe 在線TOC 分析儀的特點介紹,參數(shù)和應用。
Sievers* 500 RLe 在線TOC分析儀是半導體工業(yè)的在線,、無試劑的TOC分析儀,，能夠準確測定引起問題的化合物，例如尿素,、*基胺（TMA）,、有機酸與有機堿。
在線總有機碳（TOC,，Total Organic Carbon）分析儀應盡可能簡單,，但是不能簡單到,，將制造操作暴露在不可預期的風險中，并且存在檢測不到的有機中間產(chǎn)物,。近,，某家領導性的半導體液浸式光刻工具生產(chǎn)商已經(jīng)要求，其光刻工具給水的所有TOC檢測要包含準確的超純水（UPW）中的有機氮化合物的檢測,。一些品牌的TOC分析儀不能檢測到超純水中普遍存在的有機氮化合物,，比如尿素，或*基胺TMA1,2,。500RLe能夠準確,、重復性很好測定這些化合物，滿足此項新的TOC性能要求,。
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