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等離子表面處理儀
1.實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示真空度,，真空度準(zhǔn)確使得機(jī)器在智能控制下有了可靠的依據(jù),。
2.設(shè)備自動(dòng)模式下:真空啟動(dòng)值可以自由設(shè)定(范圍：1—80帕)這樣就為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,使得輝光保持更高純度,有力的保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性。
3.艙體,、管路,、閥體全部為不銹鋼材料，耐用防低腐蝕,。
4.采用電容式 Plasma激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,，電極板置于樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛.
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
SAT 210 等離子表面處理儀
應(yīng)用領(lǐng)域：等離子表面處理儀適用于材料科學(xué)、光學(xué),、光電子學(xué),、生命科學(xué)、電子學(xué),、生物醫(yī)學(xué),、高分子科學(xué)、半導(dǎo)體,、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
主要應(yīng)用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物 8.疏水實(shí)驗(yàn) 9.沉積實(shí)驗(yàn) 10.形成新的基團(tuán) 11.鍍膜前處理等
主要特點(diǎn)：
1.實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示真空度,使得機(jī)器在智能控制下有了可靠的依據(jù).
2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:1—80帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開(kāi)門結(jié)構(gòu),帶有觀察窗,材料為6061材質(zhì).
4.真空腔體,、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式（CCP）激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛.
6.觸摸屏+內(nèi)置計(jì)算機(jī)顯示控制,手動(dòng)\自動(dòng)兩種模式任意切換.
7.程序化設(shè)計(jì),，預(yù)先編輯好程序,，儀器自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn).
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng),，使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,，并能得到某些特定的基團(tuán),。
9.無(wú)需任何耗材，使用成本低,，無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù),，在日常使用中保持儀器清潔即可。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號(hào)：SAT 210 | 品牌：賽奧特（SAT） |
※不銹鋼艙體 | Φ110 mm×L255mm |
※射頻頻率 | 40KHz 頻率偏移量＜0.2KHz |
※射頻功率 | 最大200W,，0到200W可調(diào),，精度：1瓦， |
※輝光放電最小功率 | 最小輝光放電功率：10W |
輝光放電時(shí)間設(shè)定 | 1秒到99分59秒 |
氣路設(shè)置 | 3氣路（2路進(jìn)氣,，一路放空） |
工作氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 氣體穩(wěn)定時(shí)間:可調(diào)整,，可設(shè)定 |
※進(jìn)氣控制 | 2路浮子流量計(jì)控制 |
工作氣體 | 空氣\氮?dú)鈂氬氣\氮?dú)浠旌蠚鈂氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液,，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用,。 |
進(jìn)氣壓力 | 空氣常壓，連接鋼瓶：0.2Mpa |
真空泵 | 可選機(jī)械油泵或者干泵 |
電 源 | ~220V／50Hz |
整機(jī)尺寸（寬*深*高） | 440X500X482mm |
重 量（約） | 20KG |