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KW-4T觸摸版高性能勻膠機廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，集成電路,，材料,，微光學(xué)，生命科學(xué),，凝聚態(tài)物理,，化學(xué)等科學(xué)研究與生產(chǎn),可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導(dǎo)電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。
20年精心打造核心技術(shù),， KW-4T全觸摸屏高性能勻膠機性能全面提升,，全新外觀！
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
KW-4T觸摸版高性能勻膠機
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,，集成電路,，材料，微光學(xué),，生命科學(xué),，凝聚態(tài)物理，化學(xué)等科學(xué)研究與生產(chǎn),可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導(dǎo)電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆,。
KW-4T觸摸版高性能勻膠機20年精心打造核心技術(shù),， KW4T全觸摸屏高性能勻膠機性能全面提升，全新外觀,！
序號 | 技術(shù)規(guī)格參數(shù) | ||
一 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,，集成電路，材料,，微光學(xué),，生命科學(xué)，凝聚態(tài)物理，化學(xué)等科學(xué)研究與生產(chǎn),?？捎糜诠杵?/span>/載玻片/化合物鏡片/ITO/導(dǎo)電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。 | |
主要特點 | 1.轉(zhuǎn)速:300-9000 RPM ,穩(wěn)定性: 1RPM 3.旋涂均勻性: <1%（片內(nèi)）,；<1%（片間） 4.基片尺寸:Φ5-Φ100mm圓片,，最大100mm×100mm方片 5.程序控制:全觸摸屏操作，快速啟動,，人性化界面,，6步工藝調(diào)速設(shè)計， 0-1800s時間可調(diào),，專業(yè)用戶適合的需求 6.整機尺寸:280×248×160（mm) 7.工藝支持:依托中科院微電子所工藝平臺,，提供多方位微納加工工藝支持 8.適應(yīng)材料:硅片、玻璃,、石英,、金屬、GaAs,，GaN,，InP等各種材料工藝服務(wù) 9.特殊夾具定制:20年特殊夾具設(shè)計經(jīng)驗，匹配超薄,、異形,、脆性易碎樣品 10.電機功率:40W | ||
二 | 真空泵 | 型號：KW-550A/T 抽速：>1.5升/秒 功率：300W 噪音：55db 電壓：220v/50Hz極限真空度：-700mmHg 重量：7.3Kg 外形尺寸（mm):250*130*225 | |
三 | 基本配置 | 主機（電源線、說明書,、50毫米以內(nèi)的3種樣品片托） + 真空系統(tǒng)（電源線,、8mm氣管2.5米+消音器+說明書） | |
四 | 選配件 (樣品片托說明) | 片托形狀、材質(zhì) | 尺寸規(guī)格直徑（單位：mm） |
圓形片托,、鋁材質(zhì)（任選3個,，為基本配置包含的片托，無需另加費用） | 5 ,、8 ,、10 、13,、 15,、 18、 20,、 22（適用于1英寸）,、 28、 32,、 34,、38,、45（適用于2英寸）、50共14種選擇,。（如需單獨購買，每個300元） | ||
50毫米以上的圓形片托（需要另收費用,，鋁材質(zhì)） | 57,、 60、 67,、 72（適用于3英寸）,、 86、 96（適用于4英寸）共6種選擇 | ||
特殊定制（需要另加費用） | 定制特殊片托及長方形片托,，材質(zhì)可以根據(jù)需求定制（鋁材質(zhì)\不銹鋼\以及聚四氟乙烯\聚丙烯等） | ||
五 | 選擇片托說明 | 1.樣片為圓形時,選擇片托要小于樣片尺寸2—5毫米,樣片要全覆蓋片托的氣槽 2.正方形樣片可以選擇同等大小或者小一號片托 3.長方形樣片,，如果長寬差異不大，按照短邊尺寸選擇圓形片托,，差異很大的話,，就需要使用定制長方形片托了。 4.樣片厚度超過2毫米或者樣片很軟（厚度小于0.3毫米）都需要特殊定制,，費用根據(jù)具體的要求和材質(zhì)等因素來確定,。 | |
六 | 片托價格說明 | 圓形、鋁材質(zhì)的片托,，直徑為57,、 60、67,、 72毫米的每個400元,，86毫米的每個430元，96毫米的450元每個. | |