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一

應(yīng)用領(lǐng)域

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,，集成電路,，材料，微光學(xué),，生命科學(xué),，凝聚態(tài)物理,，化學(xué)等科學(xué)研究與生產(chǎn)?？捎糜诠杵?/span>/載玻片/化合物鏡片/ITO/導(dǎo)電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆,。

主要特點(diǎn)

1.轉(zhuǎn)速:300-9000 RPM ,穩(wěn)定性:  1RPM

3.旋涂均勻性: <1%（片內(nèi)）；<1%（片間）

4.基片尺寸:Φ5-Φ100mm圓片,，最大100mm×100mm方片

5.程序控制:全觸摸屏操作,，快速啟動(dòng)，人性化界面,，6步工藝調(diào)速設(shè)計(jì),，

0-1800s時(shí)間可調(diào)，專業(yè)用戶適合的需求

6.整機(jī)尺寸:280×248×160（mm)

7.工藝支持:依托中科院微電子所工藝平臺(tái),，提供多方位微納加工工藝支持

8.適應(yīng)材料:硅片,、玻璃、石英,、金屬,、GaAs，GaN,，InP等各種材料工藝服務(wù)

9.特殊夾具定制:20年特殊夾具設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),，匹配超薄、異形,、脆性易碎樣品

10.電機(jī)功率:40W

二

真空泵

型號(hào)：KW-550A/T   抽速：>1.5升/秒  功率：300W    噪音：55db    電壓：220v/50Hz極限真空度：-700mmHg   重量：7.3Kg   外形尺寸（mm):250*130*225            

三

基本配置

主機(jī)（電源線,、說(shuō)明書(shū)、50毫米以內(nèi)的3種樣品片托） + 真空系統(tǒng)（電源線,、8mm氣管2.5米+消音器+說(shuō)明書(shū)）

四

選配件

(樣品片托說(shuō)明)

片托形狀,、材質(zhì)

尺寸規(guī)格直徑（單位：mm）

圓形片托、鋁材質(zhì)（任選3個(gè),，為基本配置包含的片托,，無(wú)需另加費(fèi)用）

 5 、8 ,、10 ,、13、 15,、 18,、   20、 22（適用于1英寸）,、   28,、 32、 34、38,、45（適用于2英寸）,、50共14種選擇。（如需單獨(dú)購(gòu)買,，每個(gè)300元）

50毫米以上的圓形片托（需要另收費(fèi)用,，鋁材質(zhì)）

 57、 60,、 67,、 72（適用于3英寸）、 86,、   96（適用于4英寸）共6種選擇

特殊定制（需要另加費(fèi)用）

定制特殊片托及長(zhǎng)方形片托,，材質(zhì)可以根據(jù)需求定制（鋁材質(zhì)\不銹鋼\以及聚四氟乙烯\聚丙烯等）

五

選擇片托說(shuō)明

 1.樣片為圓形時(shí),選擇片托要小于樣片尺寸2—5毫米,樣片要全覆蓋片托的氣槽

 2.正方形樣片可以選擇同等大小或者小一號(hào)片托

 3.長(zhǎng)方形樣片，如果長(zhǎng)寬差異不大,，按照短邊尺寸選擇圓形片托,，差異很大的話，就需要使用定制長(zhǎng)方形片托了,。

 4.樣片厚度超過(guò)2毫米或者樣片很軟（厚度小于0.3毫米）都需要特殊定制,，費(fèi)用根據(jù)具體的要求和材質(zhì)等因素來(lái)確定。

六

片托價(jià)格說(shuō)明

 圓形,、鋁材質(zhì)的片托,，直徑為57、 60,、67,、 72毫米的每個(gè)400元，86毫米的每個(gè)430元,，96毫米的450元每個(gè).