產(chǎn)品簡介
詳細介紹
等離子體是氣體分子在真空,、放電等特殊場合下產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電磁場,,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,,隨著氣體越來越稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長,,受磁場作用,發(fā)生碰撞而形成等離子體,,同時會發(fā)生輝光,。等離子體在電磁場內(nèi)空間運動,并轟擊被處理物體表面,,從而達到表面處理,、清洗和刻蝕的效果。
等離子清洗機技術(shù)特點:
1.艙體,、管路、閥體全部為不銹鋼材料,,耐用,、防腐容易清潔。
2.儀器實現(xiàn)了手動,,自動兩種模式任意切換的工作方式,,方便用戶實驗
3.儀器實現(xiàn)了程序化設(shè)計,預(yù)先編輯好程序,,儀器可以自動完成實驗
4.無需任何耗材使用成本低,,無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可
5.電容式等離子激發(fā),處理效果均勻,,激發(fā)電極板內(nèi)置樣品倉內(nèi)頂部懸掛
6.密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染
7.40Khz射頻電源,自主研發(fā)質(zhì)量穩(wěn)定可靠,,具有自動保護功能。
8.靈活的參數(shù)設(shè)置和修改功能,,可適應(yīng)多種處理工藝,。
9.采用皮拉尼真空技術(shù),實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度,,具有1Pa的真空分辨率,,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實現(xiàn)對氣體流量和真空度的準確控制和監(jiān)測,。
10. LED+金屬按鍵控制方式,,操作方便穩(wěn)定可靠。
射頻(RF)等離子清洗機技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號:YZD08-2C | 品牌:賽奧特(SAT) |
不銹鋼/石英艙體 | Φ100 mm×L255mm |
工作氣路 | 壹路,,可以選配MFC控制 |
射頻頻率 | 40KHz |
射頻功率 | 0-200W可調(diào) |
控制系統(tǒng) | 按鈕+單排LED顯示,,實時顯示和檢測艙內(nèi)真空度值 |
時間范圍 | 0—99分59秒連續(xù)可調(diào) |
工作壓力 | 樣品倉內(nèi)200Pa以內(nèi)根據(jù)進氣量自動調(diào)節(jié) |
工作氣體 | 空氣、氧氣,、氮氫混合氣,、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
進氣壓力 | 空氣:常壓 連接氣體鋼瓶:0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手動模式和程序化自動模式 |
真空泵 | 抽速:1升到5升每秒 |
輸入電源 | ~220V/50Hz |
整機尺寸(D*W*H) | 520X460X253mm |
重量(約) | 20Kg |