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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
中小型等離子體（Plasma）
技術(shù)特點(diǎn)：
1.艙體、管路,、閥體全部為不銹鋼材料,，耐用、防腐容易清潔,。
2.我公司等離子發(fā)生器實(shí)現(xiàn)了手動(dòng),，自動(dòng)兩種模式任意切換的工作方式，方便用戶實(shí)驗(yàn)
3.儀器實(shí)現(xiàn)了程序化設(shè)計(jì),，預(yù)先編輯好程序,，儀器可以自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn)
4.無(wú)需任何耗材使用成本低，無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù),日常使用保持儀器清潔即可
5.我公司等離子發(fā)生器采用電容式等離子激發(fā),，處理效果均勻,，激發(fā)電極板內(nèi)置樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛
6.密閉真空環(huán)境下完成實(shí)驗(yàn)避免二次污染
7.40Khz射頻電源,自主研發(fā)質(zhì)量穩(wěn)定可靠，具有自動(dòng)保護(hù)功能,。
8.靈活的參數(shù)設(shè)置和修改功能,，可適應(yīng)多種處理工藝。9.采用皮拉尼真空技術(shù),，實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示樣品倉(cāng)的真實(shí)真空度,，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體流量和真空度的精準(zhǔn)控制和監(jiān)測(cè),。
10. LED+金屬按鍵控制方式，操作方便穩(wěn)定可靠。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號(hào)：YZD08-5C | 品牌：賽奧特（SAT） |
不銹鋼/石英艙體 | Φ150 mm×L255mm |
工作氣路 | 兩路,，可以選配MFC控制 |
射頻頻率 | 40KHz |
射頻功率 | 0-200W/300W可選,，可調(diào) |
控制系統(tǒng) | 按鈕+單排LED顯示，實(shí)時(shí)顯示和檢測(cè)艙內(nèi)真空度值 |
時(shí)間范圍 | 0—99分59秒連續(xù)可調(diào) |
工作壓力 | 樣品倉(cāng)內(nèi)200Pa以內(nèi)根據(jù)進(jìn)氣量自動(dòng)調(diào)節(jié) |
工作氣體 | 空氣,、氧氣,、氮氫混合氣、氬氣,、氮?dú)?/span>及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
進(jìn)氣壓力 | 空氣：常壓 連接氣體鋼瓶：0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手動(dòng)模式和程序化自動(dòng)模式 |
真空泵 | 抽速：1升到5升每秒 |
輸入電源 | ~220V／50Hz |
整機(jī)尺寸（D*W*H） | 552X590X295mm |
重量（約） | 24Kg |