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KW4T觸摸版高性能涂膠系統(tǒng)
?廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，集成電路,，材料,，微光學(xué),，生命科學(xué)，凝聚態(tài)物理,，化學(xué)等科學(xué)研究與生產(chǎn),。
?可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導(dǎo)電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。
?20年精心打造核心技術(shù),， KW4T全觸摸屏高性能勻膠機(jī)全新上市,！性能全面提升，全新外觀,！
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
20年精心打造核心技術(shù),， KW4T型勻膠機(jī)的觸摸屏升級(jí)版全新上市！
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高性能旋涂系統(tǒng)
High-performance Spin Coater
KW4T觸摸版高性能涂膠系統(tǒng)
- 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,，集成電路,，材料，微光學(xué),，生命科學(xué),，凝聚態(tài)物理，化學(xué)等科學(xué)研究與生產(chǎn),。
- 可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導(dǎo)電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆,。
- 20年精心打造核心技術(shù)， KW4T全觸摸屏高性能勻膠機(jī)全新上市,！性能全面提升,，全新外觀！
型號(hào) | KW4T |
轉(zhuǎn)速 | 300-9000 RPM |
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性 | 1RPM |
旋涂均勻性（*性） | <1%（片內(nèi)）,；<1%（片間） |
基片尺寸 | Φ5-Φ100mm圓片,，大100mm×100mm方片 |
顯示/程序控制 | 全觸摸屏操作，快速啟動(dòng),，人性化界面 6步工藝調(diào)速設(shè)計(jì),，0-1800s時(shí)間可調(diào)，專業(yè)用戶較適合需求 |
整機(jī)尺寸（mm3） | 280×220×160 |
工藝支持 | 依托中科院微電子所工藝平臺(tái),，提供*微納加工工藝支持 |
適應(yīng)材料/工藝支持 | 適合硅片,、玻璃、石英,、金屬,、GaAs，GaN,，InP等各種材料，工藝服務(wù) |
特殊夾具定制 | 20年特殊夾具設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),，*匹配超薄,、異形,、脆性易碎樣品 |
電機(jī)功率 | 40W |
抽氣速率 | >60L/min |
配置 | 主機(jī)+真空泵+基片三個(gè)（5-45毫米的圓形基片任意選擇） |
質(zhì)量保證 | 中科院微電子所設(shè)計(jì)制造，通過(guò)ISO9000質(zhì)量體系認(rèn)證 |