PIEZOSYSTEM  X軸位移臺-測量

運動范圍達 700 微米

高精度,、快速響應,，適用于大質量樣品

可適用于動態(tài)應用

X軸位移臺通常用于精密定位和運動控制應用，具有以下特點：

高達900毫米的運動范圍：X軸位移臺能夠在X軸方向上實現(xiàn)長達900毫米的運動范圍，適用于需要大范圍移動的應用景,。

亞納米分辨率：位移臺具有分辨率,，能夠實現(xiàn)亞納米級別的精確定位，適用于對位置精度要求很高的實驗和工

程任務,。

出色的軌跡精確度：X軸位移臺能夠實現(xiàn)精準平滑的運動軌跡,，保證運動過程中的穩(wěn)定性和精確性，適用于需要高

精度運動控制的場合,。

PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發(fā),。致動器在Z方向上提供250 μm的運動行程?？梢?/span>實現(xiàn)納米級的精度,。可以長期穩(wěn)定地保持特定的位置。由于其高硬度,，PZ 250蓋WL可以承載高達3公斤的負荷,。

在PIEZOSYSTEM品牌中

1、同一系列的不同型號之間,，主要差別在于行程,，以及行程不同引起的精度差異、尺寸差異等,，例如：

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