Hoenle 位移測量裝置 進口
分辨率(最小位移):位移臺的最小位移量,,比如位移臺最小位移是5mm,那么如果輸入一個1mm的運動量時,,位移臺無法運動
單向定位精度:也稱定位精度或絕對定位精度,,指的是從基準(zhǔn)點開始,沿一方向,、以一定間隔,、在全行程內(nèi)依次進行定位,分別計算各個定位點上的實測值與理論值之差,,將最大差值作為單向定位精度,。
重復(fù)精度:指的是從基準(zhǔn)點開始,沿同一方向,,向某一位置反復(fù)定位多次,,分別計算每次的實測值與理論值之差,將最大差值作為重復(fù)定位精度
正交性:沿X軸方向移動,,在Y軸上位移不變,,X,Y軸位移量乘積為0,,就是正交,,如果產(chǎn)生偏移,則偏移的角度叫做正交性
負(fù)載能力:位移臺面的中央可承受的,、可以以最大速度驅(qū)動的重量值,。分為水平負(fù)載、豎直負(fù)載和倒置負(fù)載,,分別指臺面水平,、豎直和倒置放置時的負(fù)載。
平面度:位移臺臺面不同位置處的高低差,,將最大差值作為平行度,。臺面靜止時,在臺面內(nèi)取若干測試位置,,分別測試其距基準(zhǔn)平面的距離,,其中的最大值與最小值之差為靜態(tài)平行度,。
速度:單位時間位移改變量
加速度:單位時間速度變化量
線性行程、分辨率,、精度常用單位:厘米(cm),、毫米(mm) 、微米(μm) ,、納米(nm)
換算:0.1cm=1mm=1000μm=1000000nm
角度行程,、分辨率、精度常用單位:度(°),、毫度(m°),、毫弧度(mrad)、微弧度(μrad),、角分(arcmin),、角秒(arcsec)
換算:1°=60arcmin=3600arcsec=π/180(0.0174533)rad=17.4533mrad=1745.33urad
負(fù)載常用單位:克(g)、千克(kg),、牛(N)
換算:1kg=1000g=9.8N

Hoenle型號示例:
UV2000F_HOENLE
HMI4000W
Cube400
UV 400 F/2
SOL500
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