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技術(shù)文章

位移臺(tái)的參數(shù)解析

閱讀:1964          發(fā)布時(shí)間:2023-3-8

位移臺(tái)的參數(shù)解析


 


1.分辨率(最小位移):位移臺(tái)的位移量,比如位移臺(tái)最小位移是5mm,,那么如果輸入一個(gè)1mm的運(yùn)動(dòng)量時(shí),,位移臺(tái)無法運(yùn)動(dòng)

2.單向定位精度:也稱定位精度或絕對(duì)定位精度,指的是從基準(zhǔn)點(diǎn)開始,,沿一方向、以一定間隔,、在全行程內(nèi)依次進(jìn)行定位,,分別計(jì)算各個(gè)定位點(diǎn)上的實(shí)測(cè)值與理論值之差,將差值作為單向定位精度,。

3.重復(fù)精度:指的是從基準(zhǔn)點(diǎn)開始,,沿同一方向,向某一位置反復(fù)定位多次,,分別計(jì)算每次的實(shí)測(cè)值與理論值之差,,將最大差值作為重復(fù)定位精度

4.正交性:沿X軸方向移動(dòng),,在Y軸上位移不變,X,,Y軸位移量乘積為0,,就是正交,如果產(chǎn)生偏移,,則偏移的角度叫做正交性

5.負(fù)載能力:位移臺(tái)面的中央可承受的,、可以以最大速度驅(qū)動(dòng)的重量值。分為水平負(fù)載,、豎直負(fù)載和倒置負(fù)載,,分別指臺(tái)面水平、豎直和倒置放置時(shí)的負(fù)載,。

6.平面度:位移臺(tái)臺(tái)面不同位置處的高低差,,將差值作為平行度。臺(tái)面靜止時(shí),,在臺(tái)面內(nèi)取若干測(cè)試位置,,分別測(cè)試其距基準(zhǔn)平面的距離,其中差為靜態(tài)平行度,。

7.速度:單位時(shí)間位移改變量

8.加速度:單位時(shí)間速度變化量



其他參數(shù)解析:

線性行程,、分辨率、精度常用單位:厘米(cm),、毫米(mm) ,、微米(μm) 、納米(nm) 

換算:0.1cm=1mm=1000μm=1000000nm


角度行程,、分辨率,、精度常用單位:度(°)、毫度(m°),、毫弧度(mrad),、微弧度(μrad)、角分(arcmin),、角秒(arcsec)

換算:1°=60arcmin=3600arcsec=π/180(0.0174533)rad=17.4533mrad=1745.33urad


負(fù)載常用單位:克(g),、千克(kg)、牛(N)

換算:1kg=1000g=9.8N


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