日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

PLUTO-E100型科研型等離子體干法刻蝕系統(tǒng)是一款低成本,，適合于科研機構(gòu)實驗室的桌面型科研設(shè)備，整套系統(tǒng)的目的是在4寸以及以下的樣品上進行干法刻蝕,。該系統(tǒng)包括反應(yīng)腔室,，真空系統(tǒng)，RF射頻系統(tǒng),，反應(yīng)氣路系統(tǒng),，電器控制,，軟件程序等幾個子系統(tǒng)。

整套系統(tǒng)為全自動化軟件控制,，支持recipe編寫,，支持多個工藝步驟自動運行的能力。設(shè)備設(shè)有互鎖,，斷電記憶,，自動報警，分子泵保護等安全保護功能,。為了保證設(shè)備的靈活性預(yù)留一定的升級空間,。

科研型等離子體干法刻蝕系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

1.反應(yīng)腔室：T6060鋁合金，適合4寸及以下樣品,；

2.真空系統(tǒng)由分子泵以及機械泵組成,，真空測量系統(tǒng)采用電容式壓力計；

3.設(shè)備配有1000w的13.56MHz的射頻電源,，自動射頻匹配器,，以及射頻線纜以及專用射頻接頭；

4.配有4路反應(yīng)氣體,，最多刻升級至6路,；

5.ICP 等離子體刻蝕機整套系統(tǒng)為自動化控制系統(tǒng)，該自動化系統(tǒng)通過PLC,、工控機以及控制軟件共同實現(xiàn),。

科研型等離子體干法刻蝕系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域：

微電子制造?：等離子刻蝕廣泛應(yīng)用于集成電路和芯片制造，用于制作電路中的細微結(jié)構(gòu),，如晶體管,、電容器等，以及修復(fù)或調(diào)整芯片上的電子設(shè)備,。

?光學器件制造?：等離子刻蝕技術(shù)可用于制造光學器件,，如光纖、光波導(dǎo)等,。通過控制等離子體的能量和密度,，可以在光學材料上形成所需的結(jié)構(gòu)和形狀。

?MEMS制造?：等離子刻蝕機可用于制造微機電系統(tǒng)（MEMS）中的細微結(jié)構(gòu)和器件,，例如微型傳感器,、無線通信設(shè)備和微機械運動系統(tǒng)等。

?光罩制造?：等離子刻蝕用于制造光罩上的圖案,，以及修復(fù)或修改光罩上的細微結(jié)構(gòu),。

?生物醫(yī)學應(yīng)用?：等離子刻蝕可用于生物醫(yī)學領(lǐng)域，如微流控芯片、生物芯片等的制造,，實現(xiàn)微觀結(jié)構(gòu)的制備，用于生物分析和實驗,。

?納米技術(shù)?：等離子刻蝕可以用于制造納米材料和納米結(jié)構(gòu),，如納米管、納米顆粒等,，通過控制等離子體的成分和反應(yīng)條件,，實現(xiàn)對材料的精確修飾和控制。

?晶圓制造?：在晶圓制造過程中,，等離子刻蝕機利用四氟化碳氣體進行硅片的線刻蝕,，以及氮化硅刻蝕和光刻膠的去除。通過調(diào)整氣體成分,，可以精確控制刻蝕深度,，實現(xiàn)微米級的高精度刻蝕。