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產(chǎn)品特點：

1.具有性能穩(wěn)定、性價比高,、操作簡便,、使用成本極低、易于維護的特點,。

2.對各種幾何形狀,、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷,、玻璃,、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性,。

3.**地清除樣品表面的有機污染物,。

4.定時處理、快速處理,、清洗效率高,。

5.綠色環(huán)保、不使用化學(xué)溶劑,、對樣品和環(huán)境無二次污染,。

6.在常溫條件下進行超清洗，對樣品非破壞性處理,。

技術(shù)參數(shù):

1.真空腔規(guī)格: 不銹鋼腔體,直徑150mm*(深)200mm

2.電極：平板氣浴電極,，材質(zhì)6061-T6鋁合金

3.電極尺寸：100*170mm

4.頻率：40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)

5.功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，精度1W,可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)

6.氣體控制：針式氣體流量閥,， 0-300ml   2路氣體

7. 真空計：電偶式真空計,，精度：0.01mTor

8.控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式

  控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體元件清洗：光學(xué)器件,、電子元件,、半導(dǎo)體元件、激光器件,、鍍膜基片,、終端安裝等的超清洗。

光學(xué)鏡片清洗：清洗光學(xué)鏡片,、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片,。

去除氧化物：移除光學(xué)元件,、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)，去除金屬材料表面的氧化物,。

芯片清洗：清洗生物芯片,、微流控芯片、沉積凝膠的基片,。

表面修飾：高分子材料表面的修飾,。

封裝領(lǐng)域：封裝領(lǐng)域中的清洗和改性，增強其粘附性,，適用于直接封裝及粘和,。

改善粘合力：改善粘接光學(xué)元件、光纖,、生物醫(yī)學(xué)材料,、宇航材料等所用膠水的粘和力。

涂覆鍍膜：對玻璃,、塑料,、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性,，使其活化,，增強表面粘附性、浸潤性,、相容性,，顯著提高涂覆鍍膜質(zhì)量。

牙科領(lǐng)域：對鈦制牙移植物和硅酮壓模材料表面的預(yù)處理,，增強其浸潤性和相容性,。

醫(yī)用領(lǐng)域：修復(fù)學(xué)上移植物和生物材料表面的預(yù)處理，增強其浸潤性,、粘附性和相容性及對醫(yī)療器械的消毒和殺菌,。