上海東庚設(shè)備工程技術(shù)有限公司是德國寶德（BURKERT）公司長期授權(quán)服務(wù)商,，負(fù)責(zé)Burkert產(chǎn)品在國內(nèi)的銷售并提供技術(shù)服務(wù)。產(chǎn)品包括電磁閥、過程控制閥、儀器儀表、微流量閥,、氣動產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于水處理、醫(yī)藥化工,、食品飲料生產(chǎn)、氣體應(yīng)用,、醫(yī)療器械和實(shí)驗室設(shè)備,，Burkert在全球 Fluid Control Systems 領(lǐng)域處于地位，Bürkert 公司不僅是流體技術(shù)開發(fā)商,，同時也是機(jī)械生產(chǎn),、泵技術(shù)、線圈生產(chǎn),、塑料技術(shù)和焊接技術(shù)方面的專家,。而且還是工具制造商、軟硬件開發(fā)商,、配電和設(shè)備制造商,、項目經(jīng)理等等。此外,，Burkert還負(fù)責(zé)全球許可證,。對客戶的定制服務(wù)不僅僅是單獨(dú)開發(fā)產(chǎn)品，而也包括其相關(guān)的生產(chǎn)流程和物流作業(yè)流程,。為客戶訂制個性化解決方案.
工作原理：基于熱傳導(dǎo)原理,，利用熱 MEMS 傳感器測量。傳感器直接位于氣流中,，內(nèi)置加熱元件和測溫元件,。當(dāng)氣體流動時，加熱元件的熱量被氣體帶走,，測溫元件檢測到溫度變化（ΔT）,，通過 ΔT 與氣體質(zhì)量流量的線性關(guān)系，結(jié)合 PID 控制算法,，實(shí)時調(diào)節(jié)閥門開度,，實(shí)現(xiàn)流量閉環(huán)控制。
主要特點(diǎn)
高精度和高重復(fù)性：測量精度可達(dá) ±0.8% o.R. ±0.3% F.S.,，誤差通?！?plusmn;1% F.S.，重復(fù)性達(dá) ±0.2% F.S.,。
極快的響應(yīng)時間：響應(yīng)時間＜300ms,，能快速對流量變化做出反應(yīng)，適用于動態(tài)調(diào)節(jié)場景,。
寬量程比：可調(diào)比為 50:1,，可選 100:1，額定流量范圍為 0.010l/min 至 160l/min,。
通信功能強(qiáng)大：可配備工業(yè)以太網(wǎng),、模擬或現(xiàn)場總線接口,。基于 CANopen 的 Bürkert 系統(tǒng)總線（büS）版本,，能方便地集成到現(xiàn)有的 CANopen 網(wǎng)絡(luò)中,，或與 ME43 型現(xiàn)場總線網(wǎng)關(guān)結(jié)合，集成到工業(yè)以太網(wǎng)或現(xiàn)場總線的所有通用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中,，最多 32 個 MFC/MFM 可連接至現(xiàn)場總線網(wǎng)關(guān),。
配置靈活：可根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC，設(shè)備最多可存儲四條校準(zhǔn)曲線,，方便用戶針對不同氣體或應(yīng)用場景進(jìn)行校準(zhǔn)和切換,。還可通過配置記憶卡簡化設(shè)備的更換工作。
應(yīng)用場景：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、新能源,、環(huán)保、科研,、醫(yī)療及航空航天等領(lǐng)域,。例如在晶圓清洗、氣相沉積（CVD）,、刻蝕工藝中的氣體輸送控制,，以及氫能系統(tǒng)中燃料電池的氫氣流量控制等場景。
技術(shù)參數(shù)
工作介質(zhì)：中性,、未受到污染的氣體,，根據(jù)要求也可使用其他介質(zhì)。
校準(zhǔn)介質(zhì)：工作氣體或空氣,。
工作壓力：10bar（145psi）,，對于 MFC，最高工作壓力取決于閥門有效通徑,。
環(huán)境溫度：-10°C 至 + 50°C,，根據(jù)要求可以適用于更高的溫度。
防護(hù)等級：IP20,。
工作電壓：24V DC,。
功率消耗：1…3W（作為 MFM）。
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