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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
日照大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風(fēng)設(shè)計(jì)
近些年在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中,，基本上采用多層的布置方式,，在潔凈生產(chǎn)層點(diǎn)燈格柵以上的上技術(shù)夾層嘗嘗作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),，實(shí)際上,，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層還設(shè)置一下公用動(dòng)力設(shè)備,、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等,。
日照大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風(fēng)設(shè)計(jì),，在潔凈車間的平面設(shè)計(jì)中，每個(gè)進(jìn)入控制區(qū)的人口均有風(fēng)淋室或氣閘室,，將生活區(qū),、一般生產(chǎn)區(qū)與控制區(qū)分隔開(kāi)來(lái)。按衛(wèi)生部GMP規(guī)范規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求的凈化級(jí)別,，我們?cè)跐崈糗囬g空調(diào)機(jī)入口及出口處分別設(shè)置了初效,、中效或亞*效二級(jí)過(guò)撼裝置，送風(fēng)末端設(shè)置了亞高效或高效過(guò)濾器,，靜壓箱和送風(fēng)口根據(jù)工藝要求成組布置在頂棚上,。
我們按潔凈級(jí)別為10000級(jí)，換氣次數(shù)取10-20 次／小時(shí),；1000級(jí)的換氣次數(shù)取20-30次／小時(shí),；100級(jí)的則按控制風(fēng)速計(jì)算送風(fēng)量。如果一味地用增加換氣次數(shù),，加大送風(fēng)量來(lái)滿足凈化要求,，勢(shì)必加大空調(diào)機(jī)組送風(fēng)量，提高主機(jī)的容量,，增加能耗，況且凈化效果也不盡如人意,。潔凈車間為此可以考慮在個(gè)別潔凈度要求高的房間采用設(shè)置百級(jí)層流罩方案,，加強(qiáng)局部的通風(fēng)換氣，達(dá)到凈化要求,。具體做法是：將送風(fēng)機(jī)和高效過(guò)濾器組成的機(jī)組形成一個(gè)局部的小的層流送回風(fēng)系統(tǒng),。如果在這個(gè)機(jī)組下面再加上垂直擋壁至工作臺(tái)面，形成一個(gè)局部層流罩,，則效果就更佳了,。空調(diào)回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中,，回風(fēng)口布置恰當(dāng)與否,，也是一個(gè)關(guān)鍵的問(wèn)題。
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