產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,電子 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
濰坊凈化車間-青島匯眾達工程施工企業(yè)
青島匯眾達凈化設備有限公司是一家專業(yè)從事空氣凈化工程及設備研發(fā),、設計,、制造、安裝,、維護于一體的科技企業(yè),,業(yè)務遍及食品飲料、日用品化妝品,、光電光學,、醫(yī)院工程、生物工程,、實驗室等產(chǎn)業(yè)領域,。凈化車間
匯眾達與您分享電子無塵車間凈化工程設計施工要求:
電子無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,電子無塵車間凈化工程對環(huán)境潔凈度,、溫濕度,、振動、ESD,、AMC控制等都有一定的要求,。相對于其他工業(yè)潔凈室,電子無塵車間有面積大,、潔凈等級高,、溫濕度控制精度高等特點。
濰坊凈化車間-青島匯眾達工程施工企業(yè)
根據(jù)電子無塵車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng),。
FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是:整個潔凈室由靜壓層,、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成,,由FFU提供循環(huán)空氣的動力,,將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,,靜壓層相對于工藝層為負壓,。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域,,包括電力供應,、氣體和化學品供應、超純水供應等,。集成電路制造對電子無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求,。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環(huán)境下,,凈化車間設計施工,,而化學機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。
另外,,集成電路制造潔凈廠房對噪聲,、微振、照度等都有相關的規(guī)定和要求,,尤其是振動的控制,,在潔凈室的建筑結(jié)構設計上就要有所要求。