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技術(shù)指標(biāo)：方塊電阻測(cè)量范圍（3 位有效數(shù)字）：0.00001-0.3Ω/□。
測(cè)量電流分兩檔：100mA 和 1000mA,。
最小分辨率：0.00001Ω/□,。
試樣尺寸：直徑大于 32mm。
試樣厚度：t≤5μm（約）,。
探針間距：1.59mm,。
成套設(shè)備包含：