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四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀

型號：HD-RTS-8

HD-RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器,。
儀器由主機(jī),、測試臺、四探針探頭,、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),、裝配,。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快,、精度高,、測量范圍寬、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。

技　術(shù)　指　標(biāo) ：

測量范圍 電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴(kuò)展）,；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴(kuò)展）；
電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm,；
電阻：10-4～105 Ω,；

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）,；
400mmX500mm（配S-2C型測試臺）,；
恒流源 電流量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動顯示,；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）,；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行） 0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測量大相對誤差 （用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾,；
無強(qiáng)光直射,；


配置 四探針測試儀主機(jī)、探針臺,、四探針探頭,、