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德國BECKER貝克旋片式真空泵的原理
德國BECKER貝克旋片式真空泵的原理：
旋片式真空泵泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切,，兩個(gè)（或以上）旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)（通常為徑向）并與定子內(nèi)壁相接觸，將泵腔分為幾個(gè)可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵,。通常,，旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封,，所以旋片真空泵一般是油封式機(jī)械真空泵,。
旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A,、B,、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,，正處于排氣過程,。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程,。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹）,，氣體壓強(qiáng)降低,，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入,。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí),，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮,，容積逐漸縮小,，最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí),，排氣閥被壓縮氣體推開,，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的,。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走,，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中,，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來負(fù)擔(dān),，因而提高了極限真空度,。