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德國(guó)POLYTEC激光測(cè)振儀原裝正品

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  • 型號(hào) MSA-600
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 淮安市
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更新時(shí)間：2024-05-15 12:30:58瀏覽次數(shù)：891

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應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,石油,能源,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬
德國(guó)POLYTEC激光測(cè)振儀原裝正品
在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)中，掃描式激光測(cè)振儀能可靠,、精確地完成振動(dòng)測(cè)量任務(wù),。振型和本征模式檢測(cè)有助于解決從 NVH、聲學(xué)和結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)到超聲波分析,、FEM驗(yàn)證和無(wú)損測(cè)試一切問(wèn)題,。

詳細(xì)介紹

德國(guó)POLYTEC激光測(cè)振儀原裝正品

非接觸式振動(dòng)測(cè)量

自然和科技領(lǐng)域的振動(dòng)測(cè)量需要靈活和理想的無(wú)損檢測(cè)工具，非接觸式激光多普勒測(cè)振儀無(wú)疑是較佳選擇,。在工業(yè)研究和開(kāi)發(fā)中, 激光測(cè)振儀被用于研究不同尺寸物體的動(dòng)態(tài)和聲學(xué)特性, 從整個(gè)車身,、飛機(jī)部件、發(fā)動(dòng)機(jī)和建筑物到MEMS系統(tǒng)和數(shù)據(jù)硬盤(pán)組件,。

其已被廣泛地應(yīng)用于機(jī)械工程,、聲學(xué)及其它工程學(xué)科和科學(xué)領(lǐng)域中，甚至可以對(duì)熱物體,、旋轉(zhuǎn)表面,、超聲波工具和復(fù)雜敏感的結(jié)構(gòu)進(jìn)行測(cè)量。

激光多普勒測(cè)振儀

德國(guó)Polytec公司專業(yè)從事激光測(cè)振儀的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售,，已經(jīng)成為*的非接觸式振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的，能為客戶提供在科研,、開(kāi)發(fā),、生產(chǎn)和長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)中，所面臨的所有與振動(dòng)相關(guān)問(wèn)題的完整有效解決方案,。Polytec產(chǎn)品種類齊全：?jiǎn)吸c(diǎn)或差分測(cè)量,，旋轉(zhuǎn)或面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量，MEMS系統(tǒng)的顯微式振動(dòng)測(cè)量,，或大型物體的結(jié)構(gòu)振動(dòng),。

德國(guó)POLYTEC激光測(cè)振儀原裝正品

MSA-600顯微式激光測(cè)振儀

      表面形貌,、動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)分析及可視化是MEMS器件等微型結(jié)構(gòu)的測(cè)試和研發(fā)的關(guān)鍵，這對(duì)于驗(yàn)證有限元算法,、確定串?dāng)_效應(yīng)和測(cè)量表面形變是*的,。

      MSA-600是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng),、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站,。系統(tǒng)具有*的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來(lái)的發(fā)展需要,。顯微式激光測(cè)振儀可提供精確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù),，在降低開(kāi)發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計(jì)周期,，簡(jiǎn)化故障處理,，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

 

典型應(yīng)用  　

· 微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng),，測(cè)量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng)

       如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開(kāi)關(guān),、FEM有限元模型驗(yàn)證,、CMUT、PMUT超聲換能器,、MEMS薄膜壓力傳感器,、PZT壓電懸臂梁等

· 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng)

       如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器,、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)

· 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌

       如：梳齒驅(qū)動(dòng)器,、微型齒輪、微流量傳感器,、懸臂梁等表面形貌

 

· 集多功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站

· 真正的實(shí)時(shí)測(cè)量,，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理

· 的亞pm位移分辨率

· 測(cè)量速度快，振型可視化顯示

· 操作界面直觀友好

· 全自動(dòng)化測(cè)量,，易于集成至商用探針臺(tái)上

 

 

MSA-600系統(tǒng)配置

基本配置

面外振動(dòng)大頻率為2.5 MHz

選配件

頻率擴(kuò)展

面外振動(dòng)大頻率達(dá)25 MHz

差分測(cè)量

面外振動(dòng)可進(jìn)行差分測(cè)量

面內(nèi)運(yùn)動(dòng)分析

面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量

形貌測(cè)量

表面形貌測(cè)量

  

面外振動(dòng)測(cè)量

 

測(cè)量原理

激光多普勒原理

型號(hào)

MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn))

MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)

大頻率

2.5 MHz

25 MHz

檔位數(shù)量

13 個(gè)速度檔位

13 個(gè)速度檔位

大振動(dòng)速度

0.001   m/s …   10 m/s,與檔位有關(guān)

0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān)

速度分辨率均值1

0.005   (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,

與檔位和頻率有關(guān)

0.005   (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz,

與檔位和頻率有關(guān)

位移分辨率

50 fm/√Hz

50 fm/√Hz

面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量

 

測(cè)量原理

頻閃法

型號(hào)

MSA-600 帶面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量模塊

帶寬

1 Hz … 2.5 MHz

大速度

> 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān)）

鏡頭放大倍數(shù)2

1x … 100x

位移分辨率3

5 nm

時(shí)間分辨率

100 ns (頻閃曝光時(shí)間); 頻閃大間隔時(shí)間   ±40 ns

系統(tǒng)輸出

位移量,、波特圖、階躍響應(yīng),、衰減曲線,、軌跡圖等

1 均值是根據(jù)所在檔位的大頻率fmax計(jì)算而來(lái)。

2 鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請(qǐng)見(jiàn)后附表格,。

3 隔振臺(tái)上每個(gè)頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲,。 

形貌測(cè)量

型號(hào)

MSA-600 帶形貌測(cè)量模塊

垂直測(cè)量范圍

250 μm

標(biāo)稱樣本增量

80 nm

評(píng)估程序4

光滑表面

粗糙表面

分辨率(RMS) 5

45 pm

1.2 nm

單次測(cè)量分辨率(RMS)

300   pm

14 nm

可重復(fù)精度6

500   pm

20 nm

評(píng)估平整度偏差7

< 5 nm

< 50 nm

可溯源校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)(PTB Type A1   (ISO 5436-1)

可重復(fù)精度8

0.07 %

擴(kuò)展不確定度9

0.35 %

4“光滑表面”：自相關(guān)相位評(píng)估。“粗糙表面”自相關(guān)譜包絡(luò)線評(píng)估

5 在阻尼振動(dòng)溫控條件下,，對(duì)鍍銀,、平行對(duì)齊平面鏡的50次幅值的均方根值,。

6 稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差

7 平面度的平均值（遵循ISO 1101）

8 30次階躍高度測(cè)量的均方根偏差，校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm,。

9 在重復(fù)條件下,，將30次連續(xù)測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值,。

 

光學(xué)部分技術(shù)參數(shù)

MSA-I-600 光學(xué)頭

激光波長(zhǎng)

532 nm

激光安全等級(jí)

class 3R (可見(jiàn)光輸出小于5 mW)

照明光源波長(zhǎng)

470 nm

照明光源安全等級(jí)

class 2 LED 燈(可見(jiàn)光輸出小于20 mW)

攝像機(jī)

全場(chǎng)逐行掃描

攝像機(jī)分辨率

1732 x 1200 像素

攝像機(jī)幀速

大 56 fps

 

面外面內(nèi)顯微鏡頭

放大倍數(shù)

工作距離

(WD) mm

光斑直徑

(1/e2) μm

視場(chǎng)

mm x mm

A-MOB-001X

1

13

46

10.0 x 7.0

A-MOB-002X

2

34

23

5.1 x 3.5

A-MOB-005X

5

34

9.3

2.0 x 1.4

A-MOB-010X

10

33.5

4.6

1.0 x 0.7

A-MOB- 010B-LD

10

48.9

4.6

1.0 x 0.7

A-MOB-020X

20

20

2.3

0.51 x 0.35

A-MOB-050X

50

13

1.4

0.20 x 0.14

A-MOB-100X

100

6

0.8

0.10 x 0.07

  

形貌顯微鏡頭

放大倍數(shù)

工作距離

(WD) mm

類型

視場(chǎng)

mm x mm

A-IOB-02X5-B

2.5

10.3

Michelson

4.0 x 2.8

A-IOB-005X-B

5

9.3

2.0 x 1.4

A-IOB-010X-B

10

7.4

Mirau

1.0 x 0.7

A-IOB-020X-B  

20

4.7

0.51 x 0.35

A-IOB-050X-B

50

3.4

0.20 x 0.14

A-IOB-100X-B

100

2

0.10 x 0.07

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