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我國工業(yè)機(jī)器人的市場(chǎng)主要集中在汽車,、汽車零部件、摩托車,、電器,、工程機(jī)械、石油化工等行業(yè),。中國作為亞洲第三大的工業(yè)機(jī)器人需求國,，市場(chǎng)發(fā)展穩(wěn)定，汽車及其零部件制造仍然是工業(yè)機(jī)器人的主要應(yīng)用領(lǐng)域,，隨著我國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整升級(jí)不斷深入和制造業(yè)中心向中國的轉(zhuǎn)移,，我國的機(jī)器人市場(chǎng)會(huì)進(jìn)一步加大，市場(chǎng)擴(kuò)展的速度也會(huì)進(jìn)一步提高,。本文就當(dāng)前工業(yè)機(jī)器人的關(guān)鍵技術(shù)及其應(yīng)用進(jìn)行梳理,。

機(jī)器人控制技術(shù)

機(jī)器人控制系統(tǒng)是機(jī)器人的大腦，是決定機(jī)器人功能和性能的主要因素,。工業(yè)機(jī)器人控制技術(shù)的主要任務(wù)就是控制工業(yè)機(jī)器人在工作空間中的運(yùn)動(dòng)位置,、姿態(tài)和軌跡、操作順序及動(dòng)作的時(shí)間等,。具有編程簡(jiǎn)單,、軟件菜單操作、友好的人機(jī)交互界面,、在線操作提示和使用方便等特點(diǎn),。

關(guān)鍵技術(shù)包括：

（1）開放性模塊化的控制系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)：采用分布式CPU計(jì)算機(jī)結(jié)構(gòu)，分為機(jī)器人控制器（RC）,，運(yùn)動(dòng)控制器（MC）,，光電隔離I/O控制板,、傳感器處理板和編程示教盒等。機(jī)器人控制器（RC）和編程示教盒通過串口/CAN總線進(jìn)行通訊,。機(jī)器人控制器（RC）的主計(jì)算機(jī)完成機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)規(guī)劃,、插補(bǔ)和位置伺服以及主控邏輯、數(shù)字I/O,、傳感器處理等功能,，而編程示教盒完成信息的顯示和按鍵的輸入。

（2）模塊化層次化的控制器軟件系統(tǒng)：軟件系統(tǒng)建立在基于開源的實(shí)時(shí)多任務(wù)操作系統(tǒng)Linux上,，采用分層和模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，以實(shí)現(xiàn)軟件系統(tǒng)的開放性。整個(gè)控制器軟件系統(tǒng)分為三個(gè)層次：硬件驅(qū)動(dòng)層,、核心層和應(yīng)用層,。三個(gè)層次分別面對(duì)不同的功能需求，對(duì)應(yīng)不同層次的開發(fā),，系統(tǒng)中各個(gè)層次內(nèi)部由若干個(gè)功能相對(duì)對(duì)立的模塊組成,，這些功能模塊相互協(xié)作共同實(shí)現(xiàn)該層次所提供的功能。

（3）機(jī)器人的故障診斷與安全維護(hù)技術(shù)：通過各種信息,，對(duì)機(jī)器人故障進(jìn)行診斷,，并進(jìn)行相應(yīng)維護(hù)，是保證機(jī)器人安全性的關(guān)鍵技術(shù),。

（4）網(wǎng)絡(luò)化機(jī)器人控制器技術(shù)：目前機(jī)器人的應(yīng)用工程由單臺(tái)機(jī)器人工作站向機(jī)器人生產(chǎn)線發(fā)展，機(jī)器人控制器的聯(lián)網(wǎng)技術(shù)變得越來越重要,?？刂破魃暇哂写凇F(xiàn)場(chǎng)總線及以太網(wǎng)的聯(lián)網(wǎng)功能,?？捎糜跈C(jī)器人控制器之間和機(jī)器人控制器同上位機(jī)的通訊，便于對(duì)機(jī)器人生產(chǎn)線進(jìn)行監(jiān)控,、診斷和管理,。

移動(dòng)機(jī)器人（AGV）

移動(dòng)機(jī)器人（AGV）是工業(yè)機(jī)器人的一種類型，它由計(jì)算機(jī)控制,，具有移動(dòng),、自動(dòng)導(dǎo)航、多傳感器控制,、網(wǎng)絡(luò)交互等功能,，它可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子,、紡織,、卷煙,、醫(yī)療、食品,、造紙等行業(yè)的柔性搬運(yùn),、傳輸?shù)裙δ埽灿糜谧詣?dòng)化立體倉庫,、柔性加工系統(tǒng),、柔性裝配系統(tǒng)（以AGV作為活動(dòng)裝配平臺(tái)）；同時(shí)可在車站,、機(jī)場(chǎng),、郵局的物品分撿中作為運(yùn)輸工具。

物流技術(shù)發(fā)展的新趨勢(shì)之一,，而移動(dòng)機(jī)器人是其中的核心技術(shù)和設(shè)備,，是用現(xiàn)代物流技術(shù)配合、支撐,、改造,、提升傳統(tǒng)生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)自動(dòng)存取的高架箱儲(chǔ),、作業(yè)和搬運(yùn)相結(jié)合,，實(shí)現(xiàn)精細(xì)化、柔性化,、信息化,，縮短寧波物流流程，降低物料損耗,，減少占地面積,，降低建設(shè)投資等的高新技術(shù)和裝備。

點(diǎn)焊機(jī)器人

焊接機(jī)器人具有性能穩(wěn)定,、工作空間大,、運(yùn)動(dòng)速度快和負(fù)荷能力強(qiáng)等特點(diǎn)，焊接質(zhì)量明顯優(yōu)于人工焊接,，大大提高了點(diǎn)焊作業(yè)的生產(chǎn)率,。

點(diǎn)焊機(jī)器人主要用于汽車整車的焊接工作，生產(chǎn)過程由各大汽車主機(jī)廠負(fù)責(zé)完成,。工業(yè)機(jī)器人企業(yè)憑借與各大汽車企業(yè)的長(zhǎng)期合作關(guān)系,，向各大型汽車生產(chǎn)企業(yè)提供各類點(diǎn)焊機(jī)器人單元產(chǎn)品并以焊接機(jī)器人與整車生產(chǎn)線配套形式進(jìn)入中國，在該領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)地位,。

隨著汽車工業(yè)的發(fā)展,，焊接生產(chǎn)線要求焊鉗一體化，重量越來越大,，165公斤點(diǎn)焊機(jī)器人是目前汽車焊接中常用的一種機(jī)器人,。2008年9月,，機(jī)器人研究所研制完成*臺(tái)165公斤級(jí)點(diǎn)焊機(jī)器人，并成功應(yīng)用于奇瑞汽車焊接車間,。2009年9月,，經(jīng)過優(yōu)化和性能提升的第二臺(tái)機(jī)器人完成并順利通過驗(yàn)收，該機(jī)器人整體技術(shù)指標(biāo)已經(jīng)達(dá)到國外同類機(jī)器人水平,。

弧焊機(jī)器人

弧焊機(jī)器人主要應(yīng)用于各類汽車零部件的焊接生產(chǎn),。在該領(lǐng)域，大型工業(yè)機(jī)器人生產(chǎn)企業(yè)主要以向成套裝備供應(yīng)商提供單元產(chǎn)品為主,。本公司主要從事弧焊機(jī)器人成套裝備的生產(chǎn),，根據(jù)各類項(xiàng)目的不同需求，自行生產(chǎn)成套裝備中的機(jī)器人單元產(chǎn)品,，也可向大型工業(yè)機(jī)器人企業(yè)采購并組成各類弧焊機(jī)器人成套裝備,。在該領(lǐng)域，本公司與大型工業(yè)機(jī)器人生產(chǎn)企業(yè)既是競(jìng)爭(zhēng)亦是合作關(guān)系,。

關(guān)鍵技術(shù)包括：

（1）弧焊機(jī)器人系統(tǒng)優(yōu)化集成技術(shù)：弧焊機(jī)器人采用交流伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)以及高精度,、高剛性的RV減速機(jī)和諧波減速器，具有良好的低速穩(wěn)定性和高速動(dòng)態(tài)響應(yīng),，并可實(shí)現(xiàn)免維護(hù)功能,。

（2）協(xié)調(diào)控制技術(shù)：控制多機(jī)器人及變位機(jī)協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，既能保持焊槍和工件的相對(duì)姿態(tài)以滿足焊接工藝的要求,，又能避免焊槍和工件的碰撞,。

（3）焊縫軌跡跟蹤技術(shù)：結(jié)合激光傳感器和視覺傳感器離線工作方式的優(yōu)點(diǎn)，采用激光傳感器實(shí)現(xiàn)焊接過程中的焊縫跟蹤,，提升焊接機(jī)器人對(duì)復(fù)雜工件進(jìn)行焊接的柔性和適應(yīng)性,，結(jié)合視覺傳感器離線觀察獲得焊縫跟蹤的殘余偏差，基于偏差統(tǒng)計(jì)獲得補(bǔ)償數(shù)據(jù)并進(jìn)行機(jī)器人運(yùn)動(dòng)軌跡的修正,，在各種工況下都能獲得較佳的焊接質(zhì)量,。

激光加工機(jī)器人

激光加工機(jī)器人是將機(jī)器人技術(shù)應(yīng)用于激光加工中,，通過高精度工業(yè)機(jī)器人實(shí)現(xiàn)更加柔性的激光加工作業(yè),。本系統(tǒng)通過示教盒進(jìn)行在線操作，也可通過離線方式進(jìn)行編程,。該系統(tǒng)通過對(duì)加工工件的自動(dòng)檢測(cè),，產(chǎn)生加工件的模型，繼而生成加工曲線,，也可以利用CAD數(shù)據(jù)直接加工,。可用于工件的激光表面處理,、打孔,、焊接和模具修復(fù)等,。

關(guān)鍵技術(shù)包括：

（1）激光加工機(jī)器人結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)：采用大范圍框架式本體結(jié)構(gòu)，在增大作業(yè)范圍的同時(shí),，保證機(jī)器人精度,；

（2）機(jī)器人系統(tǒng)的誤差補(bǔ)償技術(shù)：針對(duì)一體化加工機(jī)器人工作空間大，精度高等要求,，并結(jié)合其結(jié)構(gòu)特點(diǎn),，采取非模型方法與基于模型方法相結(jié)合的混合機(jī)器人補(bǔ)償方法，完成了幾何參數(shù)誤差和非幾何參數(shù)誤差的補(bǔ)償,。

（3）高精度機(jī)器人檢測(cè)技術(shù)：將三坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)和機(jī)器人技術(shù)相結(jié)合,，實(shí)現(xiàn)了機(jī)器人高精度在線測(cè)量。

（4）激光加工機(jī)器人語言實(shí)現(xiàn)技術(shù)：根據(jù)激光加工及機(jī)器人作業(yè)特點(diǎn),，完成激光加工機(jī)器人語言,。

（5）網(wǎng)絡(luò)通訊和離線編程技術(shù)：具有串口、CAN等網(wǎng)絡(luò)通訊功能,，實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)器人生產(chǎn)線的監(jiān)控和管理,；并實(shí)現(xiàn)上位機(jī)對(duì)機(jī)器人的離線編程控制。

真空機(jī)器人

真空機(jī)器人是一種在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人,，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中,，實(shí)現(xiàn)晶圓在真空腔室內(nèi)的傳輸。真空機(jī)械手難進(jìn)口,、受限制,、用量大、通用性強(qiáng),，其成為制約了半導(dǎo)體裝備整機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和整機(jī)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵部件,。而且國外對(duì)中國買家嚴(yán)加審查，歸屬于禁運(yùn)產(chǎn)品目錄,，真空機(jī)械手已成為嚴(yán)重制約我國半導(dǎo)體設(shè)備整機(jī)裝備制造的“卡脖子”問題,。直驅(qū)型真空機(jī)器人技術(shù)屬于原始創(chuàng)新技術(shù)。

關(guān)鍵技術(shù)包括：

（1）真空機(jī)器人新構(gòu)型設(shè)計(jì)技術(shù)：通過結(jié)構(gòu)分析和優(yōu)化設(shè)計(jì),，設(shè)計(jì)新構(gòu)型滿足真空機(jī)器人對(duì)剛度和伸縮比的要求,；

（2）大間隙真空直驅(qū)電機(jī)技術(shù)：涉及大間隙真空直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和高潔凈直驅(qū)電機(jī)開展電機(jī)理論分析、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),、制作工藝,、電機(jī)材料表面處理、低速大轉(zhuǎn)矩控制,、小型多軸驅(qū)動(dòng)器等方面,。

（3）真空環(huán)境下的多軸精密軸系的設(shè)計(jì)。采用軸在軸中的設(shè)計(jì)方法,，減小軸之間的不同心以及慣量不對(duì)稱的問題,。

（4）動(dòng)態(tài)軌跡修正技術(shù)：通過傳感器信息和機(jī)器人運(yùn)動(dòng)信息的融合,，檢測(cè)出晶圓與手指之間基準(zhǔn)位置之間的偏移，通過動(dòng)態(tài)修正運(yùn)動(dòng)軌跡,，保證機(jī)器人準(zhǔn)確地將晶圓從真空腔室中的一個(gè)工位傳送到另一個(gè)工位,。

（5）符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的真空機(jī)器人語言：根據(jù)真空機(jī)器人搬運(yùn)要求、機(jī)器人作業(yè)特點(diǎn)及SEMI標(biāo)準(zhǔn),，完成真空機(jī)器人語言,。

（6）可靠性系統(tǒng)工程技術(shù)：在IC制造中，設(shè)備故障會(huì)帶來巨大的損失,。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)MCBF的高要求,，對(duì)各個(gè)部件的可靠性進(jìn)行測(cè)試、評(píng)價(jià)和控制,，提高機(jī)械手各個(gè)部件的可靠性,，從而保證機(jī)械手滿足IC制造的高要求。

潔凈機(jī)器人

潔凈機(jī)器人是一種在潔凈環(huán)境中使用的工業(yè)機(jī)器人,。隨著生產(chǎn)技術(shù)水平不斷提高,，其對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求也日益苛刻，很多現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)都要求在潔凈環(huán)境進(jìn)行,，潔凈機(jī)器人是潔凈環(huán)境下生產(chǎn)需要的關(guān)鍵設(shè)備,。

關(guān)鍵技術(shù)包括：

（1）潔凈潤滑技術(shù)：通過采用負(fù)壓抑塵結(jié)構(gòu)和非揮發(fā)性潤滑脂，實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)境無顆粒污染,，滿足潔凈要求,。

（2）高速平穩(wěn)控制技術(shù)：通過軌跡優(yōu)化和提高關(guān)節(jié)伺服性能，實(shí)現(xiàn)潔凈搬運(yùn)的平穩(wěn)性,。

（3）控制器的小型化技術(shù)：根據(jù)潔凈室建造和運(yùn)營成本高,，通過控制器小型化技術(shù)減小潔凈機(jī)器人的占用空間。

（4）晶圓檢測(cè)技術(shù)：通過光學(xué)傳感器,，能夠通過機(jī)器人的掃描,，獲得卡匣中晶圓有無缺片、傾斜等信息,。